Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9250260 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 9250260
Taille de la plaquette: 12"
Furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K est un four de diffusion haut de gamme spécialement conçu pour la production de semi-conducteurs avancés. Il est conçu pour offrir une uniformité de température supérieure, la stabilité et la répétabilité des résultats de processus. Le four est équipé de systèmes de mesure in situ tels que Luminos Mass Flow Controller (MFC), Oxyde Mass Flow Controller (OMFC), Hot-Wire Line Source (HWLS), Chromel/Alumel/Albaloy-1 Thermocouple et chromel/alumel/Albaloy-1/kapton Thermocouple pour permettre un contrôle précis des conditions de traitement. La plage de température maximale de TEL ALPHA 303IK est de 1200 ° C Il dispose d'un tube à quartz avec un système de contrôle de pression à deux, offrant un solide joint résistant au virus et à la poussière pour maintenir une propreté maximale et réduire l'introduction d'impuretés dans l'environnement de traitement. Le four de diffusion est équipé d'un système de chauffage à trois zones - la zone de propane (aussi connue sous le nom de zone infrarouge), la zone de transfert et la zone de fil chaud. Dans la zone propane, le gaz propane est utilisé comme source de chaleur pour élever rapidement le substrat à la température cible. La zone de transfert est alors utilisée pour déplacer facilement les substrats dans et hors du four. La zone de fil chaud utilise la source de fil chaud pour assurer l'homogénéité de la température. De plus, le four est équipé d'un système Process Monitor (PM-1) pour fournir une rétroaction utile en temps réel sur les paramètres du processus de diffusion. Cela permet aux opérateurs de surveiller et d'ajuster avec précision et efficacité la température de fonctionnement, le débit de gaz et les performances de l'équipement pendant le processus de diffusion. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K offre également de faibles performances de diffusion de particules, un contrôle précis de la température et une interface utilisateur avancée. Ceci offre un moyen rapide et simple d'établir les paramètres de diffusion pour chaque substrat ou tâche de nettoyage/gravure. Dans l'ensemble, ALPHA 303IK Diffusion Four est un instrument efficace et fiable conçu pour produire des plaquettes de haute qualité avec des performances de coût exceptionnelles. C'est la solution idéale pour la production en série de dispositifs semi-conducteurs, ce qui en fait un outil essentiel dans la fabrication de circuits intégrés modernes.
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