Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9281995 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K est un four de diffusion de pointe et des composants associés conçus pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il combine des tubes oxydés en aluminium anodisé, des éléments chauffants linéaires à induction et des commandes informatisées avancées pour assurer une diffusion supérieure des plaquettes et des performances de recuit. TEL ALPHA 303IK a une alimentation inductive de 700 watts qui offre un chauffage inductif linéaire jusqu'à 2000 ° C Il est également livré avec un système d'injection de gaz, permettant la distribution précise d'une variété de produits chimiques. Ceci est important pour optimiser les résultats dans une variété d'applications de procédé, y compris l'oxydation et l'implantation de nitrures. Le four est chargé solidement à travers une pince de porte haute pression, assurant une pression maximale sur les plaquettes tout en protégeant contre la contamination. Un système automatisé de régulation de température permet des cycles de chauffage précis et reproductibles, ainsi que la possibilité de définir des profils thermiques multiples pour diverses étapes du processus. De plus, un système de vide intégré assure la stabilité de la température et de l'atmosphère dans la chambre du four. Pour plus de commodité, TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K comprend une option de repérage de plaquettes, permettant un placement sécurisé de plaquettes dans le four sans chargement manuel. Une cassette de plaquettes peut contenir jusqu'à douze plaquettes, ce qui la rend utile pour une variété d'applications. Outre une diffusion supérieure, TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK peut également être utilisé pour la gravure diélectrique d'oxyde, la gravure ionique réactive et la gravure au nitrure d'oxyde thermique. Il comprend une boîte de plaquettes amovible, permettant des tâches de transport et de nettoyage faciles. Il présente également un réglage à basse température, permettant l'utilisation du four pour des applications rapides de refroidissement et de recuit. ALPHA 303IK est un four à diffusion haute performance qui peut être utilisé dans la large gamme d'applications de traitement des plaquettes semi-conductrices. Il offre des capacités de contrôle informatisées puissantes et précises, ainsi que de multiples options pour le chargement des plaquettes. Il offre des performances fiables, répétables et des fonctionnalités à long terme, ce qui en fait un choix fiable et rentable pour les fabricants de semi-conducteurs.
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