Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381804 à vendre en France
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ID: 9381804
Furnace, 12"
MTO
Heater type: VMM-56-002
Gas: Pure N2, SiH4, N2O
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K est un four et un accessoire de diffusion de qualité pour la fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement est capable de traiter thermiquement des températures allant jusqu'à 1200 ° C Il est construit avec un four de diffusion avancé, lui donnant une durée de vie extra-longue et la conformité avec la plupart des matériaux en production. Ce four est doté de dispositifs de sécurité de pointe, d'une alimentation électrique rapide et d'un système d'échappement perfectionné, qui assurent des opérations plus sûres et une meilleure efficacité. TEL ALPHA 303IK four de diffusion est conçu avec trois sections primaires appelées chambres. Les trois chambres comprennent la chambre de précharge, la chambre de traitement et la chambre de serrure de charge. La chambre de précharge abrite un élément chauffant alimenté par une alimentation par induction, un régulateur de température et une vanne à vide élevé. Les trois chambres sont isolées, étanches et offrent un environnement contrôlé pour effectuer différents types de processus thermiques. La chambre de traitement est équipée d'une chambre sans humidité, de chauffages infrarouges, d'une isolation électrique et d'un tube à quartz. Cette chambre est utilisée pour contrôler la température et l'environnement nécessaires aux processus thermiques. La chambre de verrouillage de charge fournit la chambre de transfert nécessaire et l'équilibre de pression. Cela est nécessaire s'il y a des exigences de transport. Afin d'assurer le maintien des normes de qualité et de production, TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K est équipé d'un ensemble de capteurs. Ces capteurs comprennent des thermocouples, des capteurs de pression, des pyromètres, des régulateurs de température et des testeurs électriques. Avec ces capteurs, l'opérateur est en mesure d'obtenir un maximum de précision et d'efficacité en surveillant toutes les conditions de surface du substrat. Le dissipateur de chaleur équipé d'ALPHA 303IK est équipé de quatre lampes à quartz capables d'absorber et de transférer la chaleur avec précision et avec une perte d'énergie minimale. Ce type de machine de dissipateur thermique assure une stabilité de traitement thermique, un profil de température homogène au sein de l'outil et un cyclage thermique moindre pour moins de contraintes sur les plaquettes ou le substrat. Enfin, ALPHA 303 I K est conçu pour s'adapter à la plupart des sites de production puisqu'il dispose d'un cadre compact et solide. Le régulateur, les conduites de gaz et la conduite d'eau de refroidissement sont tous intégrés dans le corps principal. Ce type de construction réduit également le temps nécessaire à la mise en place et réduit également le coût global. Dans l'ensemble, Alpha 303i-K est un four de diffusion et un accessoire de haute qualité et efficace utilisé dans la production de semi-conducteurs. Cette unité polyvalente est équipée d'un dispositif de sécurité de pointe, d'une alimentation thermique rapide et de moyens d'échappement avancés. Il est conçu avec un ensemble de trois chambres permettant un transfert sûr, la température et le contrôle de la pression. Enfin, le modèle dispose d'un équipement unique de dissipateur thermique et de construction compacte pour un montage facile sur n'importe quel site de production.
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