Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381810 à vendre en France

ID: 9381810
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
Furnace, 12" MTO Heater type: VMM-56-002 Gas: Pure N2, SiH4, N2O 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K est un four de diffusion et une combinaison d'accessoires spécialement conçus pour le traitement thermique rapide (RTP). Cette solution sur mesure comprend un équipement de régulation de température, un système de verrouillage de charge et une chambre de processus de chargement supérieure. Il est très fiable, avec une précision et une stabilité avancées, permettant aux utilisateurs d'obtenir une uniformité supérieure et des résultats optimaux dans leurs processus RTP. L'unité de régulation de température de TEL ALPHA 303IK se compose d'une grande interface couleur tactile, permettant une manipulation facile et intuitive des cycles de chauffage et de refroidissement du four. La machine peut être programmée pour fonctionner de 300-1200 ° C, avec une vitesse de rampe réglable jusqu'à 200 ° C/min. Cet outil de contrôle utilise également un algorithme PID pour la régulation rapide de la température, permettant une précision et une répétabilité supérieures. De plus, la gamme de température TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K est conçue pour les opérations à basse pression, qui minimisent la dégradation de la qualité de surface pendant le processus. L'outil de verrouillage de charge de TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK est conçu pour assurer un chargement rapide et efficace des substrats dans la chambre sans avoir à refroidir et réchauffer le modèle. Cela permet aux utilisateurs de réduire au minimum la durée du cycle thermique tout en maintenant un régime de température uniforme, évitant ainsi les dommages potentiels aux modules de processus complexes et aux substrats instables. Un autre avantage de cet équipement est qu'il permet une interchangeabilité rapide des pièces, une réduction supplémentaire du temps de cycle et des coûts d'entretien. La chambre de traitement haute charge ALPHA 303 I K est spécialement conçue pour RTP. Ce système est très précis, avec une uniformité d'environ 2 à 5 ° C/zone, ce qui permet des résultats répétables et fiables à chaque fois. La chambre est également conçue pour diminuer le temps de refroidissement, permettant un retournement plus rapide entre les essais. De plus, la taille de la chambre est personnalisable, ce qui permet de traiter n'importe quelle surface avec la même exposition. ALPHA 303IK est l'unité RTP parfaite, offrant la meilleure combinaison de précision, de vitesse et d'évolutivité pour vos besoins de traitement thermique. Avec sa machine de régulation de température avancée, son outil de verrouillage de charge et sa chambre de processus de chargement supérieure, cet atout est essentiel pour obtenir des résultats supérieurs dans tous les types de processus thermiques.
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