Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381826 à vendre en France
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ID: 9381826
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Furnace, 12"
MTO
Heater type: VMM-56-002
Gas: SiH4 / N2O
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Le four de diffusion Alpha 303i-K est un outil utilisé pour la fabrication précise de plaquettes de haute qualité. Il s'agit d'un four multi-zones avec un équipement avancé de transfert et de revêtement de plaquettes. Il se compose de deux chambres : la zone de chaleur et la zone de refroidissement. La zone de chauffage est le lieu de sublimation et de gravure ; et la zone de refroidissement est celle où la plaquette est refroidie et une couche d'oxyde est formée. Le système avancé de transfert de plaquettes permet un contrôle précis et répétable des paramètres de diffusion pour chaque processus. TEL ALPHA 303IK dispose d'une unité de chauffage très efficace, avec la zone de chaleur obtenue par une lampe IR. Cette lampe est située à l'intérieur d'un tube à quartz, ce qui permet une plage de température contrôlée fixée par l'utilisateur. La lampe émet une lumière visible et un rayonnement IR qui est absorbé efficacement par la plaquette de silicium dans la chambre de procédé. La machine assure également un contrôle précis du profil thermique en contrôlant séparément la vitesse de chauffage et de refroidissement de chaque zone. De plus, la fonction avancée de contrôle de température à deux zones (TZTC) permet un contrôle précis de la température dans la zone de chaleur et de refroidissement, assurant des vitesses de diffusion uniformes et précises à l'intérieur de la chambre. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K est également capable de processus de gravure et de sublimation très précis. Son outil de revêtement avancé permet un dépôt précis de couches minces, ainsi que des procédés de nitridation et de gravure. La tête de dépôt intégrée peut supporter une variété de tailles de plaquettes, allant de 200 mm à 300 mm, ainsi que des épaisseurs variables. La chambre à quartz intégrée permet un environnement propre lors du traitement. L'actif est également équipé de plusieurs dispositifs de sécurité pour protéger à la fois l'utilisateur et le modèle. Ceux-ci comprennent un écran LCD qui permet à l'utilisateur de surveiller tous les paramètres de diffusion depuis l'extérieur, ainsi qu'un bouton d'arrêt d'urgence qui peut rapidement arrêter l'équipement en cas d'urgence. TEL Alpha 303i-K four de diffusion est un outil très avancé et précis pour le traitement des plaquettes. Il est doté de technologies de pointe telles qu'un système de chauffage efficace, un régulateur de température à deux zones et une chambre à quartz intégrée, entre autres. Cela permet des processus de dépôt et de gravure précis, ainsi que des processus de nitridation et de sublimation. Avec ses caractéristiques avancées, TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK est capable de fournir une fabrication de plaquettes de haute qualité et précise, ce qui en fait un excellent choix pour tout laboratoire de développement et de production.
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