Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381848 à vendre en France
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ID: 9381848
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Furnace, 12"
Process: SiGe Poly
Heater type: VMM-56-002
Gases:
SiH4
10%GeH4/H2
1%BCl3/N2
ClF3
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K est un four de diffusion haut de gamme conçu pour une large gamme d'applications sur les marchés industriels et de laboratoire. Le four de diffusion est un équipement polyvalent conçu pour traiter efficacement les plaquettes semi-conductrices de manière efficace, fiable et sûre. TEL ALPHA 303IK dispose d'un système avancé de traitement des plaquettes composé de plusieurs chambres, permettant à plusieurs étapes de processus de fonctionner séparément ou simultanément. L'unité dispose d'une machine de chauffage 3 zones avancée, utilisant une alimentation de thyristor à plusieurs niveaux de puissance élevée, pour chauffer la chambre indépendamment. Le porte-plaquettes est une plate-forme chauffante et est couplé mécaniquement à la chambre de traitement, permettant un profil de température constant lors du traitement des plaquettes. La chambre de procédé est conçue avec un tube rayonnant direct, qui peut atteindre des températures allant jusqu'à 1200 ° C pour les procédés de diffusion ou d'oxydation. La chambre de procédé étanche est également conçue pour un faible taux de particules, ce qui la rend idéale pour une variété d'applications nécessitant un environnement propre et exempt de contaminants. En outre, la chambre dispose d'un outil de refroidissement avancé, permettant un refroidissement rapide de la chambre de procédé, et un retour rapide de la chambre à une température ambiante préprogrammée. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K est capable de maintenir une pression allant jusqu'à une atmosphère, et la pureté de l'atmosphère de l'actif est surveillée en continu, ainsi que la pression de la chambre de processus. De plus, l'utilisateur est en mesure de contrôler la concentration en oxygène de la chambre de procédé. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K est conçu avec une large gamme de fonctionnalités conviviales, telles que l'enregistrement des processus exécutés, la programmabilité pour plusieurs tailles de plaquettes, et la capacité de stockage des recettes. Il est également équipé d'une fonction de sécurité avancée, où le modèle s'arrête automatiquement si les paramètres du processus dépassent leurs limites préprogrammées. Dans l'ensemble, Alpha 303i-K est un four de diffusion idéal pour une variété d'applications industrielles et de laboratoire, offrant des capacités avancées de traitement des plaquettes et une meilleure convivialité. Cet équipement fournira des résultats très précis et fiables, permettant un traitement très efficace des plaquettes.
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