Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381862 à vendre en France
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ID: 9381862
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Furnace, 12"
Process: DCS-HTO
Heater type: VOS-56-003
Gas: NH3 / SiH2Cl2 / N2O / SiH4
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K est un four et un accessoire de diffusion qui est utilisé pour la production de plaques de silicium polycristallin dans l'industrie de la microélectronique. La conception de l'unité permet un traitement thermique rapide et un refroidissement rapide, ce qui le rend adapté à une grande variété d'applications. Il dispose d'une grande chambre qui est logée dans un boîtier en acier durable et un équipement de chicane d'air très efficace qui contribue à réduire les pertes thermiques. La grande chambre peut accueillir jusqu'à 1000 plaquettes. TEL ALPHA 303IK comporte plusieurs zones et électrodes différentes, chacune étant conçue pour jouer un rôle spécifique dans le processus de chauffage et de refroidissement. Cela comprend une zone de chauffage dans laquelle la température peut être ajustée dans une plage de 250-1600 degrés Celsius. Une zone de refroidissement, réglable de 0 à 125 degrés Celsius, est également incluse, permettant un refroidissement rapide des plaquettes déjà chauffées. La zone chaude comporte un canon à faisceau ionique, qui est capable de contrôler avec précision la température et les ions, d'où une répartition uniforme des ions sur les plaquettes. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K dispose d'un extérieur en acier inoxydable durable et d'une unité étanche sous vide, ce qui le rend adapté à une utilisation en salle blanche. Il dispose également d'un système de sécurité avancé qui surveille et ajuste la température et la pression du four pour éviter le surchauffe, ce qui contribue à prolonger la durée de vie de l'unité et à augmenter la qualité du produit. L'unité de contrôle comprend également un moniteur LCD, permettant aux utilisateurs de surveiller la température et la pression dans la machine. En plus des capacités de traitement thermique, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K est également livré avec plusieurs accessoires qui peuvent aider à optimiser le processus. Il s'agit notamment d'une source d'ions, d'un bouclier isolateur et d'une télécommande qui contribuent à améliorer la précision du procédé et à réduire la contamination de l'outil. Dans l'ensemble, le four et l'accessoire de diffusion Alpha 303i-K est un équipement de traitement thermique de pointe qui convient à toute une gamme d'applications. Ses caractéristiques et ses accessoires en font un outil fiable pour produire des plaquettes en silicium polycristallin de qualité, réduire la contamination et optimiser l'efficacité.
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