Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394526 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K est un four de diffusion et un équipement d'emballage accessoire qui est utilisé pour déposer une variété de matériaux semi-conducteurs sur des plaquettes et d'autres substrats. Il s'agit d'un système de four vertical à commande numérique avancé qui prend en charge la programmation de la recette de processus multi-cycles. Cette unité est idéale pour des tâches de diffusion et/ou d'application dopantes de haute précision. TEL ALPHA 303IK est conçu avec un profil vertical capable d'atteindre des températures maximales allant jusqu'à 1100 ° C, avec une stabilité de température et une uniformité de ± 1 ° C sur l'ensemble de la zone de travail. Ceci est assuré par un contrôle électrique précis de la distribution de l'atmosphère interne du four. En termes de sécurité, TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K est équipé de chambres à triple évasement pour prévenir l'oxydation ou la contamination potentielle. En outre, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK fonctionne à haut débit et est capable de traiter des lots de 15 plaquettes avec un maximum de 32 plaquettes par recette multi-cycle. Il est également capable de fonctionner avec le gaz de choix, permettant le dopage avec N2, Ar, H2, O2 et autres selon les besoins. La machine a un cycle de vide de -7 torr avec une propriété de débit de fuite de moins de 1 x 10 ^ -7 pa. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K comprend également un certain nombre d'accessoires qui aident le processus de diffusion. Il s'agit notamment d'un générateur de plasma, d'un four à quartz, de filtres à particules et de filtres de sécurité. L'outil est certifié conforme aux normes de sécurité SEMI 3, S2 et ESD. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K est livré avec une consommation électrique d'environ 13kW et une empreinte de 78,7 x 80,3 pouces (2 x 2,04 m). Dans l'ensemble, TEL Alpha 303i-K est un actif de four vertical à commande numérique avancé qui offre d'excellentes performances pour les tâches de diffusion et/ou d'application dopante. Il est équipé d'une gamme d'accessoires et certifié pour répondre à des normes de sécurité strictes. Ce modèle est idéal pour ceux qui recherchent une solution fiable et performante pour leurs besoins de diffusion.