Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394532 à vendre en France
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ID: 9394532
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2009
Furnace, 12"
Process: Silicon nitride (SiN) deposition process using dichlorosilane‑based chemistry
2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K est un four et un accessoire de diffusion qui permet le dépôt rapide, précis et à basse température de couches minces de divers matériaux sur des substrats destinés à la fabrication de semi-conducteurs. Il convient à diverses applications, y compris le recuit, la restauration, l'oxydation et le dépôt de films ultra-minces. Le système de contrôle avancé de la machine permet de contrôler avec précision des paramètres tels que le profil de température, le temps, la pression, le débit de gaz et la composition de l'atmosphère. Cela permet une production flexible et efficace de films minces de haute qualité et de haute précision. TEL ALPHA 303IK dispose d'un module de traitement TEM (TEM) parallèle haute performance. Ce module permet un contrôle précis des températures de processus jusqu'à 1000 ° C et offre une large gamme de profils de température. Il dispose également d'une fenêtre de four conçue pour minimiser la perte de chaleur et d'un système de mesure de la température in situ pour assurer un contrôle uniforme de la température tout au long du processus. Avec une grande variété d'accessoires optionnels disponibles, TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K peut être utilisé pour des applications telles que le recuit, l'oxydation et le dépôt de couches minces d'oxyde de platine, d'or et de silicium. Il peut également être utilisé pour protéger les surfaces des émetteurs d'électrons et contrôler la rugosité superficielle des matériaux. En outre, la machine est compatible avec plusieurs types de matériaux, y compris divers métaux, plaquettes de silicium, cristaux de GaN, et le verre. ALPHA 303IK est rapide, efficace et facile à installer et à utiliser. Il dispose d'un écran tactile convivial et de divers dispositifs de sécurité, tels qu'un châssis à la terre, une isolation haute tension et une surveillance des fuites. En outre, il est compact et très portable, ce qui en fait un choix idéal pour une grande variété de processus de production dans différents contextes. Dans l'ensemble, Alpha 303i-K est un four à diffusion haute performance et un accessoire conçu pour répondre aux besoins des fabricants de semi-conducteurs. Avec son système de contrôle avancé et sa grande variété d'accessoires optionnels, il permet un dépôt rapide, précis et uniforme de couches minces, ce qui en fait un choix idéal pour une variété d'applications.
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