Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394986 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K est un four de diffusion et accessoire. Ce four de diffusion est équipé d'une conception de poche double unique qui permet d'optimiser la circulation des gaz de source in situ, ce qui améliore l'efficacité de la source et une bonne homogénéité pendant le processus de diffusion. Il dispose d'une chambre de chargement à paroi chaude avec une zone chaude séparée au milieu permettant un écoulement unidirectionnel du gaz vers l'intérieur à travers les ports d'entrée de la source. Ceci forme à son tour un schéma d'écoulement efficace qui augmente l'uniformité pour de meilleurs résultats de processus. La conception de poche double TEL ALPHA 303IK minimise également le gradient thermique entre la poche source et le reste de la chambre pour minimiser les fluctuations de pression statique et permettre un dépôt d'alumine et de dopant aluminium plus stable. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K dispose également d'un contrôleur programmable facile à utiliser. Ce contrôleur permet une modulation de flux neutronique programmable à quatre pas maximum. Par conséquent, il peut réagir rapidement à la variation de l'activité de la source tout en maintenant une concentration uniforme de la source sur l'ensemble de la tranche. Le contrôleur permet également un contrôle de la température jusqu'à 4 zones avec une précision ± 2 ° C, en veillant à ce que la température soit maintenue avec précision pendant le processus de diffusion. Ce four de diffusion est conçu pour être économe en énergie, en utilisant une méthode de traitement thermique en trois étapes thermiques pour la récupération progressive de la température pré-thermique et permet à l'utilisateur d'ajuster la durée de récupération de 0 à 40 minutes. Il dispose également d'une fonction de récupération automatique intégrée qui surveille divers paramètres opérationnels et rétablit automatiquement le four dans un état de démarrage spécifié. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK est couplé avec une gamme de caractéristiques de sécurité pour assurer les normes de sécurité les plus élevées pendant le fonctionnement. Il est équipé d'interrupteurs de détection des fuites de chambre, d'une surveillance des ruptures de thermocouple, d'un dispositif de radioprotection, d'un système de sécurité d'interception et d'un système d'arrêt d'urgence, qui contribuent tous à garantir un fonctionnement fiable. De plus, un filtre d'entrée est installé pour empêcher les particules et autres contaminants d'entrer dans la chambre et perturber le processus de diffusion. En conclusion, TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK est un four et un accessoire de diffusion particulièrement fiables et économes en énergie qui est conçu pour garantir un fonctionnement stable avec une efficacité optimale. Sa circulation de gaz source in situ, son contrôleur programmable avec modulation de flux, son traitement thermique économe en énergie et ses fonctions de sécurité complètes le rendent adapté à la diffusion microélectronique.
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