Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394987 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 9394987
Taille de la plaquette: 12"
Furnaces, 12" TEOS.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K est un four à diffusion et ses accessoires utilisés dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. TEL ALPHA 303IK fonctionne comme une solution efficace, peu entretenue et performante pour les processus de diffusion. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K utilise un équipement de chauffage linéaire de buse, qui assure une répartition égale de la température sur la plaquette. Il offre également une excellente homogénéité des plaquettes grâce à son contrôle précis de la température. Le système est équipé d'un réchauffeur à quartz à haute température pour garantir des conditions thermiques toujours optimales. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK utilise une unité de chauffage numérique propriétaire, qui combine des fonctionnalités innovantes pour obtenir une distribution de chaleur uniforme, un meilleur contrôle des processus et le plus haut degré de fiabilité. Cette machine dispose d'un contrôle indépendant de la hiérarchie des températures, d'un contrôle du chauffage des impulsions et d'une compensation localisée du cycle thermique pour une capacité de température optimale. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K offre de nombreux avantages supplémentaires tels que des plaques de distribution de gaz pour un débit de gaz précis et constant, des plaques de débit de gaz réglables pour régler la pression de la conduite de gaz appropriée, des périodes réduites de chaleur non critique, et des fonctions de mesure sophistiquées. En outre, l'outil comporte un maximum de 15 étages de chauffage, qui peuvent être affectés à différentes plages de température. TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK est conçu pour fournir des résultats de processus très précis et assurer un contrôle de processus répétable. Il a une large gamme de températures de 200-1100 degrés Celsius, avec une uniformité de température exceptionnelle. En outre, son contrôleur avancé dispose d'une interface utilisateur concise et intuitive. Les accessoires de diffusion TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K offrent également les meilleures conditions pour une qualité optimale du procédé. Ces accessoires comprennent un ensemble d'échappement actif qui utilise des thermocouples pour contrôler la température des conduites d'échappement, un amortisseur d'échappement à entrefer et un contrôle de l'alimentation en gaz d'échappement pour assurer un débit d'air d'échappement adéquat. Il offre également des fonctions de nettoyage automatisé et d'entretien des fours, ainsi que des capacités d'enregistrement et de déclaration intégrées. En résumé, ALPHA 303IK est un four de diffusion supérieur et ses accessoires. Ses caractéristiques offrent un contrôle supérieur de la température, une grande uniformité, une excellente stabilité du procédé et des capacités d'échappement et de maintenance efficaces. Toutes ces caractéristiques garantissent les plus hauts niveaux de qualité et de productivité des procédés.
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