Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394989 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Le four à diffusion alpha 303i-K est un implanteur avancé à grande échelle pour la fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement est conçu pour le traitement thermique efficace des métaux, de la céramique et d'autres matériaux pour les applications microélectroniques et connexes. Il est conçu avec une chambre ouverte permettant un accès facile aux composants individuels. TEL ALPHA 303IK se compose de trois sections : la chambre du plateau, la zone de contrôle inférieure et la zone de traitement supérieure. La chambre du plateau dispose d'une zone de préchauffage et de recuit pour un traitement thermique contrôlé. Il est également équipé de plateaux amovibles pouvant accueillir une gamme de substrats. Ces plateaux sont fabriqués en aluminium haute performance et ont une répartition uniforme de la chaleur, ce qui permet de terminer rapidement et efficacement les étapes de processus à basse température. En outre, les plateaux disposent d'un système de refroidissement intégré, qui permet de les refroidir rapidement lors du changement entre les étapes de traitement. La section de commande inférieure est équipée d'une unité de recirculation d'air avancée qui assure l'intégrité de l'environnement du processus. Ceci est atteint par machine de filtration en deux étapes avec des filtres HEPA et ULPA, ce qui évite la contamination de sources extérieures. Cela garantit que l'environnement du procédé est préservé des particules étrangères. Il est également équipé d'un outil de surveillance convivial intelligent, qui fournit des informations détaillées sur les conditions et paramètres exacts pour chaque étape du processus. La zone de traitement supérieure de TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K est constituée d'un collecteur d'entrée de gaz, d'un support de substrat chauffé au quartz et de contrôleurs de puissance. Le support de substrat comporte des ouvertures pour l'injection de gaz et le refroidissement, et il est conçu pour maximiser la vitesse de chauffage et obtenir un chauffage uniforme. Les régulateurs de puissance sont utilisés pour contrôler la température de l'élément chauffant, ce qui permet un traitement thermique efficace et uniforme. En plus de l'atout principal, il y a un certain nombre d'accessoires disponibles, tels que le tableau de commande optionnel du suscepteur pour le réglage des températures de préchauffage et de recuit, le pyromètre optique et le modèle d'imagerie spectrale. Cet équipement est utilisé pour la détection optique automatisée et l'analyse des microstructures des substrats après traitement. Dans l'ensemble, le four de diffusion ALPHA 303IK peut fournir un traitement thermique efficace des métaux, de la céramique et d'autres matériaux pour des applications microélectroniques. Il est conçu avec une chambre ouverte, permettant un accès facile aux composants individuels. Le système est encore amélioré avec une unité de recirculation d'air avancée, qui assure l'intégrité de l'environnement du processus, et un certain nombre d'accessoires, qui permettent une plus grande précision lors de diverses étapes de traitement.