Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394990 à vendre en France
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ID: 9394990
Taille de la plaquette: 12"
Furnace, 12"
Gases: SiH4, Si2H6, H2, ClF3, LTO520 (Liquid).
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K est un four et un accessoire de diffusion monobloc précis et fiable qui est utilisé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. En effet, le 303i-K peut être utilisé pour des procédés de recuit, de diffusion dopante et de cristallisation de différents matériaux (par exemple des plaquettes de silicium, des plaquettes d'arséniure de gallium, etc.). Le four utilise un système de chauffage infrarouge, qui génère des tempéraments très précis et uniformes, permettant de raccourcir le temps de cycle thermique. En outre, le 304i-K dispose d'un ensemble d'options robuste et flexible qui permet aux utilisateurs de mener plusieurs processus à la fois. Cela inclut le roulage de plusieurs plaquettes en même temps, la personnalisation du profil de température, et selon le matériau, l'option soit pour le recuit d'oxyde ou de nitrure. Le 303i-K est livré avec une unité unique de chargement et de déchargement de seau, de sorte que plusieurs plaquettes peuvent être chargées et déchargées simultanément. De plus, la température de la chambre est stabilisée rapidement, assurant des processus de refroidissement et de recuit à cycle rapide. La machine dispose également d'un outil de surveillance qui permet aux ingénieurs d'observer les étapes de traitement des plaquettes et de vérifier l'état des procédés en temps réel afin de réduire la défaillance des plaquettes et de prévenir la contamination des procédés. Pour assurer une sécurité maximale, le 303i-K fonctionne avec un atout air propre, qui crée et maintient une atmosphère protectrice. Ceci maintient un niveau contrôlé de propreté dans la chambre et contribue également à réduire la dégradation des plaquettes. De plus, le modèle effectue également un autodiagnostic de ses fonctions, ce qui aide l'opérateur à déterminer les problèmes de performance avant qu'ils ne se produisent et causent des dommages. En termes de spécifications et de performances, le 303i-K a une capacité de charge pouvant aller jusqu'à douze pouces de plaquettes et fonctionne dans une plage de température de 100 000 à 1 400 ° C Le four est également équipé de commandes logicielles, offrant aux utilisateurs des options de programmation telles que la puissance maximale vers le haut, la fréquence maximale vers le bas, la rampe thermique variable, et d'autres pour une plus grande personnalisation. En conclusion, TEL ALPHA 303IK est un four de diffusion monobloc de précision et un équipement accessoire avec une variété de caractéristiques conçues pour rendre le processus de recuit, de diffusion dopante et de cristallisation sûr et efficace.
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