Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9411634 à vendre en France
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ID: 9411634
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
Furnace, 12"
Gases: SiH4, Si2H6, H2, ClF3, LTO520 (Liquid)
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K est un four de diffusion conçu pour diverses applications industrielles, y compris le traitement de dispositifs semi-conducteurs et le chauffage industriel, ainsi que pour la recherche et le développement. TEL ALPHA 303IK est un four de diffusion robuste, durable et fiable équipé de systèmes de chauffage et de refroidissement performants. Il comprend une structure extérieure innovante de type cloche pour un profil thermique uniforme et un temps de séjour uniforme, ainsi qu'un mécanisme de levage automatique programmable en option pour un contrôle précis de la température. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K dispose d'un contrôle précis de la température, jusqu'à 1100 ° C, dans toutes les plaques de taille, avec une uniformité de température extrêmement précise. Il offre également un refroidissement rapide, une mémoire automatique de position du couvercle et des dispositifs de sécurité avancés pour éviter des opérations prolongées non désirées à des températures élevées. Un « kit de plaquettes empilées » en option est disponible pour permettre un traitement thermique uniforme de plusieurs plaquettes en une ou deux couches dans un seul cycle de four. Les systèmes avancés de chauffage et de refroidissement de TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK permettent des profils de température précis et reproductibles pour une gamme de besoins industriels. L'entrée de puissance est réglable jusqu'à 10 kW, et la sortie de puissance vers la plaquette peut être réglée jusqu'à 2 kW. ALPHA 303 I K dispose également d'un système intégré de diffusion de gaz pour des processus de gravure sèche et/ou d'implantation ionique très précis. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 L'interface conviviale de I K et un logiciel puissant d'analyse de données simplifient la configuration et le fonctionnement tout en offrant une fonctionnalité puissante. Le logiciel permet aux utilisateurs de configurer les opérations rapidement, d'économiser les combinaisons de réglages fréquemment utilisées et d'utiliser des recettes standard, ainsi que d'exploiter plusieurs fours simultanément. La construction robuste du TEL Alpha 303i-K lui permet de fonctionner de manière fiable dans des environnements industriels, tandis que ses caractéristiques de sécurité étendues, telles qu'un arrêt au gaz actionné par hystérésis, un protecteur à haute température réglable et un bouton d'arrêt d'urgence, offrent une protection fiable contre les surchauffes ou surtensions incontrôlées. Dans l'ensemble, le four de diffusion ALPHA 303IK offre un traitement thermique fiable et précis pour toute une gamme d'applications industrielles. Sa structure extérieure innovante de type cloche, son contrôle supérieur de la température, son refroidissement rapide, son large éventail de caractéristiques de sécurité, ses systèmes avancés de diffusion de gaz, son interface conviviale intégrée et son logiciel puissant d'analyse de données en font un choix idéal pour les processus critiques en température.
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