Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293596434 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrure est un four de diffusion et un accessoire conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il a été conçu pour répondre aux besoins des procédés les plus exigeants et est utilisé pour un large éventail d'applications, y compris le dépôt et la gravure de couches minces, les traitements de surface, l'oxydation et les traitements au nitrure. TEL Alpha 303i Nitrure est un four de diffusion haute performance qui utilise un équipement de zone chaude verticale chauffée directement et un volume d'accès vertical. Cette configuration offre une homogénéité thermique précise, une excellente stabilité de la température et une homogénéité précise de la répartition de la température au niveau de la plaquette. L'utilisation d'un système de chauffage vertical de la zone chaude et d'un volume d'accès élargi maximise l'uniformité de la répartition de la température au niveau de la plaquette et améliore le processus et le rendement du produit. TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrure est équipé de la technologie de régulation de température la plus récente, permettant un réglage précis de la température, le contrôle de la vitesse de rampe et le contrôle du cycle du four. Il est livré avec un contrôleur d'écran tactile qui permet une surveillance et un réglage faciles des paramètres du processus. Il est également équipé d'un contrôleur logique programmable (PLC) pour le réglage et le contrôle automatisés des paramètres du processus. La zone chaude est réalisée en un matériau électriquement conducteur qui sert de source de chaleur, maximisant encore le transfert de chaleur et améliorant ainsi l'homogénéité thermique et la stabilité de la température. La zone chaude est également équipée d'un ensemble d'anode qui aide à contrôler et réguler le courant électrique qui est utilisé pour contrôler la température. Alpha 303i Nitrure est également livré avec des caractéristiques de sécurité pour assurer la sécurité des opérateurs de processus. Il dispose de protections ambiantes telles qu'une alarme de surchauffe, une alarme d'explosion et d'incendie et une coupure de courant d'urgence, en plus d'un dispositif d'interception automatisé qui empêche l'ouverture de la zone chaude pendant le fonctionnement du four. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrure machine est conçu pour offrir une flexibilité de processus maximale. Il peut gérer une large gamme de différents types et tailles de plaquettes, ainsi que diverses recettes de processus pour le traitement des nitrures. Il est également conçu pour un entretien rapide et facile, avec un étalonnage simple et une variété d'outils de diagnostic pour assurer la stabilité du processus et des rendements de produits supérieurs. L'alignement simultané des plaquettes est également disponible pour le revêtement double face en nitrure. En conclusion, TEL Alpha 303i Nitrure est un four de diffusion haute performance et un accessoire conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est équipé des dernières technologies de régulation de température et des caractéristiques de sécurité pour assurer une sécurité maximale et la stabilité du processus. Il est capable de traiter un large éventail de types de plaquettes, de tailles et de recettes de processus pour le traitement des nitrures, offrant une flexibilité de processus maximale et des rendements de produits supérieurs.
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