Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293596435 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride
ID: 293596435
Vertical furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrure est un four de diffusion haut de gamme et accessoires connexes. Il s'agit d'un équipement de traitement thermique multi-zones, monobloc, capable de dépôt chimique en phase vapeur tridimensionnel (CVD) et de diffusion d'une grande variété de matériaux. La gamme de nitrures TEL Alpha 303i comprend un module de croissance à cristaux d'azote à haute puissance, ainsi que des modules CVD en nitrure, métal réfractaire et métal de transition. TEL propriétaire IFEC (Integrated Furnace Electronic Controller) fournit une gamme complète d'options pour contrôler et gérer les processus thermiques. TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrure est conçu pour traiter de plus grandes plaquettes avec une taille maximale de plaquette de 300 mm. Il peut accueillir jusqu'à 16 plaquettes par procédé, et son débit élevé le rend adapté à une production à grande échelle. La machine offre également une large gamme de capacités à haute température, de la température ambiante jusqu'à 1100 ° C Le « rouleau de refroidissement » Alpha 303i Nitride permet un refroidissement rapide et aide à protéger les plaquettes pendant le processus thermique. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrure bénéficie de la plus grande pureté d'azote, d'argon et d'autres gaz pour obtenir un traitement thermique de qualité supérieure. Son logiciel d'automatisation embarqué le rend facile à utiliser et permet de maintenir le rendement de production avec une grande précision. Le système de traitement d'image numérique (DIPS) en option contrôle de façon adaptative la distribution d'épaisseur des nitrures et des matériaux réfractaires. TEL Alpha 303i Nitride intègre des dispositifs de sécurité avancés, y compris une fenêtre de sécurité infrarouge pour prévenir les blessures du personnel, ainsi qu'une unité de sécurité murale pour détecter et prévenir les fuites de gaz. Le four est équipé d'une machine de surveillance en temps réel pour surveiller l'état de sa température de cuisson, de sa pression et de son débit de gaz. En outre, un outil spécial pour le suivi des plaquettes et des tubes à quartz à l'intérieur de l'outil est disponible. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrure est un four de diffusion efficace et fiable et un actif CVD qui est bien adapté à la production à grande échelle. Son puissant module de croissance du cristal d'azote, sa large gamme de températures et ses systèmes automatisés assurent un contrôle précis du processus thermique et contribuent à maximiser les rendements de production. La machine comprend une multitude de dispositifs de sécurité pour protéger le personnel et les équipements, ce qui en fait un choix idéal pour le traitement thermique nitrure et métal réfractaire.
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