Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293655836 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-303i Le four à nitrure est un équipement de traitement de substrat performant. Il est idéal pour diffuser divers matériaux dans le silicium et d'autres substrats semi-conducteurs, et est capable de toutes les zones de traitement des dispositifs semi-conducteurs de l'implantation ionique à l'oxydation et les applications de nitrure. En termes de capacités techniques, TEL Alpha-303i Nitrure Four a une température maximale de 1250 ° C, avec une homogénéité thermique maximale de ± 5 ° C Il a également une uniformité de température ± 0,9 ° C dans une zone de 70 x 70 mm, et une uniformité ± 2,2 ° C dans une zone de 140 x 140 mm. Le système est capable de maintenir un historique thermique pendant plus de 150 cycles thermiques, et peut être utilisé pour des problèmes de production de volume élevé. Son ensemble de chauffage intégral très fiable assure une précision maximale de régulation de température ± 0,2 ° C La machine est équipée d'une gamme de fonctionnalités avancées telles qu'un pyromètre avec un outil de visualisation à distance, et un actif de contrôle du débit de gaz. Elles permettent un contrôle précis du nitrure et d'autres traitements du niveau de la chambre à celui de la plaquette. Le four Nitrure est également capable de contrôler le dopage en tenant compte de la température. Pour ce faire, on manipule l'équilibre entre le flux d'azote et le flux de gaz source de silane. Il comprend également une configuration avancée d'électrode inférieure en quartz, conçue pour améliorer l'uniformité. TOKYO ELECTRON Alpha-303i Le four à nitrure est un outil de traitement de substrat fiable et puissant. Ses caractéristiques avancées garantissent une large gamme de procédés de haute précision, et elle tire parti des dernières technologies de semi-conducteurs et de croissance cristalline. Sa précision de régulation de la température et son homogénéité thermique assurent une production constante de volume moyen à élevé. Il utilise également des capteurs avancés et des systèmes de contrôle automatisé pour garantir une sécurité maximale et la qualité des résultats de processus.