Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #9282707 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Le nitrure est un four de diffusion et un accessoire utilisé dans la production de semi-conducteurs et de couches minces. Il est idéal pour une large gamme d'étapes de traitement telles que le nitrure thermique, le LPCVD, la multi-épitaxie et les procédés de gravure, chaque étape ayant une excellente homogénéité de température et répétabilité pour assurer un produit cohérent et de haute qualité. TEL Alpha 303i Nitrure est composé de deux composants distincts, la zone chauffée et la plaque de douche, et est alimenté par une alimentation programmable, permettant une puissance de chauffage précise et cohérente. La zone chauffée est une fenêtre de visualisation thermique en quartz qui est située en haut du système et fonctionne à des températures comprises entre 350 et 1200 ° C La plaque de douche produit une température homogène qui est uniformément répartie dans la chambre de procédé, qui est définie par des plans d'anode et de masse et une fréquence d'alimentation de 400 à 2000Hz. Le système dispose d'un volume de chambre de 12 litres avec un orifice d'accès qui permet un échange de matière rapide entre l'intérieur et l'extérieur de la chambre. Sa stabilité à la température avancée, son homogénéité et sa répétabilité garantissent une épaisseur précise et constante tant dans les films créés que dans les substrats traités. Un dispositif de commande numérique (NC) avec interface tactile permet un fonctionnement réglable et sûr du four, l'utilisateur pouvant établir des paramètres de traitement prédéterminés avant d'initier automatiquement chaque cycle. TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrure comprend également des fonctionnalités supplémentaires conçues pour améliorer le temps de retournement de la production telles que la fonction de démarrage automatique qui garantit que tous les paramètres de cyclisme sont maintenus sur plusieurs courses. Alpha 303i Nitrure est conçu pour une sécurité optimale du personnel et des matériaux, avec la chambre équipée d'alarmes de température et de pression et des fonctions d'arrêt, ainsi que des panneaux extérieurs refroidis à l'eau qui offrent une protection supplémentaire contre la chaleur. Grâce à ses performances élevées, à sa conception conviviale et à ses normes de sécurité supérieures, le nitrure TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i est une excellente option pour les besoins du four de diffusion.
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