Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Oxide #293597095 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Oxyde est un four de diffusion et ses accessoires associés pour l'oxydation thermique de plaquettes de silicium. Le four est conçu pour fournir une oxydation thermique uniforme à la fois à petite échelle en laboratoire et à l'échelle de la production. Il est capable de générer des oxydes de haute pureté, allant d'une température de consigne unique à un profil soigneusement ajusté d'oxydation à l'état stable. Il utilise une structure de four à parois verticales pour contrôler la température d'oxydation et un régulateur de débit massique situé près de la charge de la plaquette pour assurer un traitement thermique à haut rendement de la plaquette. L'équipement est conçu pour un conditionnement thermique parfait, fournissant une température stable avec un gradient thermique très faible sur la surface du substrat. Le four est thermiquement stable, robuste et durable avec un faible coût de fabrication et d'entretien. Le four de diffusion comprend plusieurs caractéristiques, telles qu'un système d'entraînement à double arbre unique, une température zone par zone réglable, des régulateurs de pression et des presets numériques température/pression. L'entraînement à double arbre utilise un entraînement mécanique pour assurer un contrôle stable de la température sans dépassement de température ou instabilités, tandis que la température réglable zone par zone permet aux utilisateurs de traiter différentes zones de la plaquette de silicium à différentes températures simultanément. De plus, les régulateurs de pression et la fonction numérique température/pression prédéfinie permettent un contrôle précis de la pression et de la température pendant le processus de dépôt d'oxyde. L'un des principaux avantages de TEL ALPHA-303I OXYDE est son automatisation simplifiée. Le mode de fonctionnement automatique et les utilitaires embarqués basés sur ordinateur fournissent un fonctionnement facile et efficace et la mise en place de recettes d'oxydation thermique. L'unité assure également la traçabilité des paramètres du procédé et du dispositif car chaque recette est analysée de manière exhaustive après la diffusion. Cela garantit que tous les paramètres du processus sont précisément contrôlés et enregistrés, assurant un rendement optimal et une qualité optimale. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I OXYDE comprend également plusieurs caractéristiques de sécurité telles que l'arrêt automatique en cas d'augmentation de température anormale et l'alarme de port d'échappement pour indiquer l'anomalie du four d'oxydation. En outre, la machine peut être actionnée en mode manuel ou automatique, ce qui permet la flexibilité et la sécurité de l'utilisateur. TOKYO ELECTRON ALPHA-303I OXYDE est un four de diffusion efficace et fiable, idéal pour les procédés d'oxydation thermique à petite et grande échelle et pour la production d'une couche d'oxyde de haute qualité, uniforme et mince. Il offre une performance thermique exceptionnelle, permettant des températures stables avec de faibles gradients thermiques, améliorant la qualité des résultats et les rendements des procédés. De plus, ses fonctions d'automatisation et de sécurité simplifiées garantissent la facilité d'utilisation et de fonctionnement tout en offrant une productivité et une précision optimales.