Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293636078 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 293636078
Furnace Process: DCS-MTO.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i est un four de diffusion et les accessoires associés conçus pour le traitement de la production de puces semi-conductrices. TEL ALPHA-303I est capable de traiter la diffusion à des températures allant jusqu'à 1200 ° C, ce qui le rend adapté à la formation de jonctions peu profondes et profondes. Les caractéristiques qui permettent la personnalisation du processus comprennent : la conception de l'alimentation de la source de four pour la protection contre les températures excessives, un équipement complet de processus de rétroaction, et le contrôle indépendant de plusieurs zones de température. L'interface homme-machine (HMI) de la 303i offre aux utilisateurs flexibilité, sécurité et productivité des interactions et des diagnostics avancés. Sa conception efficace de chambre de réverbération diffuse assure l'uniformité du processus tout en conservant un excellent profil d'uniformité. De plus, le 303i a des performances de générateur RF supérieures qui peuvent être adaptées aux couches spécifiques et aux exigences d'application. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I est équipé de dispositifs avancés de protection de l'environnement. Ces caractéristiques comprennent des débits d'eau ultra bas, des systèmes de refroidissement dédiés et la protection contre l'ozone. En outre, le système est équipé d'une unité de permutation de gaz pour traiter une large gamme de gaz pour différentes exigences de processus. La machine de permutation de gaz travaille également en conjonction avec un analyseur de gaz pour s'assurer que les paramètres du processus sont bien maintenus. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I dispose également de solutions de pompes à vide essentielles pour contrôler la contamination des procédés. L'unité est alimentée par une pompe à vide de grande capacité et un manomètre différentiel indépendant pour assurer un contrôle efficace du processus. En outre, l'unité dispose d'un outil de maintenance à plusieurs reprises pour l'entretien des biens et l'entretien général. Dans l'ensemble, Alpha 303i est un grand four de diffusion puissant et efficace et les accessoires associés. Sa technologie sophistiquée garantit que l'unité est adaptée à un large éventail d'environnements de traitement de diffusion. Avec son contrôle précis et son uniformité, TEL Alpha 303i est une solution efficace et fiable pour la production de puces semi-conductrices.
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