Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293658609 à vendre en France
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ID: 293658609
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2001
Diffusion furnace, 12"
Type: Automation
Heater
Process chamber
Temperature
Controller
Scavenger cooling water unit
Gas supply unit
Exhaust vacuum line
Power box
Pump box
Rapid cooling unit
Missing parts:
Quartz wares
Process tube
APC: CKD
Gas: PN2, O2, HC
KAWASAKI MECHA
FUIIKIN EC Air valve
Power supply:
AC 440V, 3 Phase
AC 100V, Single Phase
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i est un four de diffusion avancé et un équipement accessoire conçu pour le traitement thermique de haute précision des plaquettes de silicium. Ce système utilise un four à trois zones ultra-rapide avec une technologie de chauffage par résistance RF à un étage, à faible puissance. TEL ALPHA-303I est une unité modulaire qui permet une expansion simple et efficace pour répondre aux besoins des clients. De plus, le four est conçu avec une source de pulvérisation magnétron plane à écran chauffé, des rampes de chargement et de déchargement réglables en hauteur multiples et un collecteur d'entrée de gaz. L'uniformité de température de TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I est seconde à nulle en raison de la configuration unique du four à trois zones qui utilise un contrôle P.I.D. avancé. Cela permet de maintenir la température de procédé désirée avec précision et rapidité dans toute la chambre intérieure. Un nouveau matériau catalytique breveté assure également la répétabilité et une meilleure stabilité du procédé. Le four est également conçu pour une homogénéité et une répétabilité de haute précision, comme une uniformité de température allant jusqu'à ± 2 ° C dans toute la chambre. ALPHA 303 I est également conçu pour faciliter la maintenance et le fonctionnement. L'installation du four est conçue pour un accès rapide et facile à tous les éléments de la chambre et de la machine via des couvertures d'accès en acier inoxydable situées à l'arrière et au fond du four. En outre, l'outil est équipé d'un outil d'aspiration performant qui permet d'éliminer efficacement les gaz d'échappement générés pendant le cycle de traitement. Cela garantit qu'aucune fumée dangereuse ne soit produite au cours du processus. D'autres caractéristiques de TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I comprennent un puissant modèle de commande de micro-processeur pour surveiller et ajuster les paramètres du four tels que les temps de chauffage et les températures. Cela garantit un processus précis et fiable dans chaque cycle, et la capacité de stocker les paramètres pour une utilisation future. L'équipement est également équipé d'un système de chargement automatique des plaquettes qui contribue à réduire les temps d'arrêt et à améliorer la productivité de l'appareil. Alpha 303i est une machine fiable et avancée de four de diffusion qui fournit des solutions de traitement thermique de haute précision pour les plaquettes de silicium. La conception modulaire du four permet une expansion facile et le puissant outil de contrôle micro-processeur assure un fonctionnement précis et reproductible à chaque fois. En outre, la technologie de chauffage RF à faible puissance assure un chauffage précis et le collecteur d'entrée de gaz assure une évacuation efficace des gaz d'échappement. Cet actif de four de diffusion est idéal pour ceux qui recherchent une solution de traitement thermique fiable et précise pour les dispositifs semi-conducteurs.
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