Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293754732 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i est un four de diffusion et accessoire utilisé pour créer des produits de qualité semi-conductrice. Il peut être utilisé dans une variété de procédés, y compris la diffusion, l'oxydation et le LPCVD. TEL ALPHA-303I possède des fonctionnalités manuelles et entièrement automatisées qui le rendent extrêmement facile à utiliser. Il est également adapté pour les petits lots de production, permettant des rendements plus élevés grâce à l'amélioration du contrôle et de la surveillance des procédés. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I puissance maximale est de 110kW, avec sortie réglable et profilage de température. Les dimensions de la chambre sont un diamètre de 35,4 cm et une profondeur de 35 cm avec la taille maximale du substrat à 300mm de diamètre. Le four dispose de 6 zones de chauffage avec des suscepteurs chauffés et une capacité de plein azote. Cela permet des études ciblées telles que des évaluations de l'oxydation, de la diffusion des impuretés, de la silicisation et des dépôts multicouches. De plus, la compatibilité des procédés à haute température peut être assurée jusqu'à 1100 ° C ou plus TEL Alpha 303i comporte également jusqu'à 6 canaux d'entrée de gaz à travers le système d'injection de gaz et un système optionnel de métrologie in situ qui permet de contrôler en temps réel des paramètres tels que la température et les différents gaz utilisés à différentes étapes du procédé. Il peut également accepter diverses sources de chauffage dont une puissance de 50/60 Hz et des sources de courant alternatif équilibrées/déséquilibrées. Enfin, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I propose des recettes qui permettent d'économiser, d'éditer et de charger facilement les recettes. Cela le rend extrêmement convivial pour les ingénieurs, les techniciens et le personnel de production. L'équipement dispose également de dispositifs de sécurité installés en usine, y compris E-Stop, des alarmes sur la température et la pression, et des systèmes de détection d'incendie. TEL/TOKYO ELETRON ALPHA-303I est un excellent four de diffusion et accessoire pour diverses applications de production de semi-conducteurs. Ses fonctionnalités faciles à utiliser en font un excellent choix pour ceux qui cherchent à augmenter leurs rendements de production tout en menant des processus de haute qualité.