Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9167199 à vendre en France
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ID: 9167199
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Vertical LPCVD furnaces, 12"
Currently warehoused
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i est un four de diffusion largement utilisé dans les applications industrielles et de recherche de dépôt en couches minces. TEL ALPHA-303I se compose d'une chambre de réacteur à quartz de 6 "de diamètre, d'un équipement intégré d'injection de gaz, d'un pulvérisateur à quartz et d'un régulateur de température. Le régulateur de température dispose d'un algorithme PID haut de gamme qui fournit une température de substrat stable et précise jusqu'à 1100 ° C L'ensemble du système fonctionne par l'intermédiaire d'un contrôleur tactile doté d'une interface utilisateur intuitive. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I four de diffusion est une chambre à quartz verticale avec une paroi autour du creuset à quartz. La chambre comporte une unité d'injection de gaz qui permet l'injection d'azote, d'hydrogène, d'argon ou d'autres gaz dans la chambre. Le gaz est également utilisé pour créer un blindage protecteur autour du creuset, le protégeant de la contamination. La machine de contrôle thermique est constituée de deux entrées de thermocouple qui contrôlent respectivement la température du creuset à quartz et la température de la chambre. En aval du four de diffusion se trouve un ensemble d'accessoires comprenant un outil sous vide, une porte mécanique, un soufflet à haute température, un piège à froid, un manomètre et un raccord de purge de gaz. D'autres composants optionnels comprennent un injecteur à ports multiples, un injecteur à zones multiples, un collecteur de four, une vanne et plus encore. Le four de diffusion Alpha 303i offre une homogénéité et une répétabilité de température supérieures, ainsi qu'une excellente stabilité thermique. Ceci garantit un procédé de dépôt en couches minces de haute qualité. Il est également rentable, car les composants à faible coût durent plus longtemps et peuvent être remplacés plus facilement qu'avec d'autres modèles. En résumé, le four de diffusion ALPHA 303 I et ses accessoires offrent un contrôle de température et une uniformité supérieurs, une excellente stabilité thermique et un bon rapport coût-efficacité. Il convient aux applications industrielles et de recherche dans le dépôt de couches minces, ce qui en fait un outil précieux et inestimable pour les professionnels de la fabrication.
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