Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9186622 à vendre en France
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ID: 9186622
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Vertical diffusion furnace, 12"
Process: TOZS Anneal (Tones SilaZene)
Main top cover
WVG
I/O Unit
I/O Top cover
Loadport
Back door
Exhaust box
Operation panel
Gas box
Power box
RCU
RCU 1
RCU 2
Heater chamber
RCU Duct
(3) Parts boxes
NDU
Lot capability: 50
Process speed per unit time:
Wafer CHG, loading: 40
Process: 2H
Wafer DIS-CHG, un-loading: 40
Clock bandwidth: 60 Hz
Frequency: 60 Hz
Power:
208 V, 200 A, 3 Phase (Heater)
200 V, 40 A, 1 Phase (Controller)
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i est un four de diffusion et un accessoire de pointe conçu pour la fabrication de semi-conducteurs de haute performance. Cet outil de pointe intègre une technologie de pointe et des caractéristiques permettant un contrôle précis du processus de diffusion, permettant la production de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité avec des performances exceptionnelles. Au cœur du système TEL ALPHA-303I se trouve le four de diffusion, qui est un composant essentiel dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le four est équipé de plusieurs zones de chauffage, chacune avec des capacités de régulation de température indépendantes, permettant un profilage de température précis pendant le processus de diffusion. Ce niveau de contrôle est essentiel pour obtenir des profils de diffusion uniformes et minimiser les variations de processus sur la surface de la plaquette. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I est conçu pour accueillir une large gamme de gaz de procédé et de dopants, permettant de personnaliser le processus de diffusion pour répondre aux exigences spécifiques des différentes applications de dispositifs semi-conducteurs. La machine dispose de systèmes avancés de distribution de gaz et de régulateurs de débit massique pour garantir des débits de gaz précis et reproductibles, essentiels pour atteindre des niveaux de dopage et des performances du dispositif cohérents. Outre le four de diffusion, l'outil TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I comprend une gamme d'accessoires et de périphériques pour soutenir des procédés de fabrication de semi-conducteurs efficaces et fiables. Ces accessoires peuvent comprendre des verrous de charge pour le chargement et le déchargement des plaquettes, des robots de manutention des plaquettes pour le transfert automatisé des plaquettes et des systèmes de surveillance et de contrôle des processus pour l'optimisation des processus en temps réel. L'une des caractéristiques clés de TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I est ses capacités avancées de contrôle des processus. Le modèle est équipé d'algorithmes de contrôle sophistiqués et de logiciels qui permettent de surveiller en temps réel des paramètres clés du processus tels que la température, les débits de gaz et la pression. Cela permet aux opérateurs d'identifier et de corriger rapidement toute déviation par rapport aux conditions de processus souhaitées, en garantissant des performances cohérentes et répétables du dispositif. L'équipement TEL ALPHA-303 I est également conçu pour faciliter l'utilisation et la maintenance, avec une interface conviviale qui permet aux opérateurs de contrôler intuitivement les paramètres du système. L'unité est équipée d'outils de diagnostic et de routines d'auto-étalonnage pour assurer une performance optimale de la machine et minimiser les temps d'arrêt dus aux activités de maintenance ou d'étalonnage. Dans l'ensemble, ALPHA-303 I est un four de diffusion polyvalent et performant et un outil accessoire qui répond aux exigences strictes de la fabrication moderne de semi-conducteurs. Avec sa technologie de pointe, son contrôle précis des processus et ses performances fiables, ALPHA-303I est un outil essentiel pour la production de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité avec des performances exceptionnelles.
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