Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251686 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i est un four de diffusion et des accessoires de pointe conçus pour fournir des films haut de gamme au plus haut niveau de pureté, d'uniformité et de répétabilité. Il dispose d'une technologie de pointe qui permet le traitement rapide d'une large gamme de matériaux. TEL ALPHA-303I est un four multi-étages avec un équipement de chauffage à trois zones, lui permettant de fournir une gravure ionique réactive profonde (DRIE) et des procédés d'oxydation thermique avec une qualité et une répétabilité supérieures. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I utilise une chambre unique de génération de plasma, qui est alimentée en oxygène, azote, ou gaz d'hydrogène de silicium afin de modifier diverses conditions de processus pour améliorer l'uniformité et la pureté. Il dispose de systèmes actifs de contrôle de l'uniformité de la température et de la coloration de la pression avec des capacités de programmation de la température et de cartographie de la température. ALPHA-303I est également capable d'une variété de techniques de distribution de gaz, de flux variable dans le temps à des impulsions de gaz précisément chronométrées. Cette fonctionnalité permet aux utilisateurs d'obtenir un dépôt de film précis et de contrôler le processus. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I est équipé d'un système de surveillance multi-points intégré, permettant aux utilisateurs de recueillir des données sur de nombreux paramètres de processus tels que la pression, la température, le débit de gaz et la concentration d'oxygène dans la chambre. Ces données sont utilisées pour créer des cartes d'uniformité ou pour optimiser les IFRS. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I est une unité de distribution de gaz multi-réservoir - l'utilisateur peut également choisir une configuration basse pression ou haute pression pour établir une atmosphère propice à divers processus. Une machine de capture d'électrons est également incluse, ainsi qu'une inductance RF à quartz et l'alimentation RF qui l'accompagne pour contrôler la fréquence. Cela permet aux utilisateurs d'effectuer des traitements électrostatiques de revêtement, de pulvérisation et de PVD. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I comprend également un processus de décollage, ainsi qu'un mode de cuisson avancé avec ouverture automatique de la porte et déplacement du toit. Le procédé de décollement peut être utilisé pour la gravure par biais de plaquettes, le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) et d'autres traitements de surface pour améliorer la qualité du film. Le couvercle du four peut également être chargé jusqu'à 20 kg, ce qui permet aux utilisateurs d'atteindre l'uniformité et d'éviter les problèmes de distorsion. De plus, TEL ALPHA 303 I comprend un outil de détection chimique des points d'extrémité pour le nettoyage à sec et est équipé d'un outil de cartographie de l'uniformité de 400 mm. Cela permet aux utilisateurs d'assurer un contrôle stable des processus et d'obtenir des données précises sur les processus par lots. De plus, l'Alpha 303i est revêtu d'une finition céramique spéciale à faible résistance, offrant la plus grande précision, uniformité et répétabilité. TEL ALPHA-303 I est un équipement de pointe qui offre aux utilisateurs une large gamme de fonctionnalités pour garantir une perfection, une qualité et une répétabilité supérieures. Il permet aux utilisateurs d'exécuter une grande variété de processus à la plus haute qualité, tout en fournissant des données pour assurer un contrôle efficace des processus.