Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9304085 à vendre en France
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ID: 9304085
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
LPCVD System, 12"
Gases: P-N2, NH3, SiH2CI2, CIF3
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i est un four de diffusion et des accessoires qui peuvent être utilisés pour graver et traiter des plaquettes semi-conductrices. Il est idéal pour la fabrication de circuits intégrés avancés, de couches minces et d'autres dispositifs semi-conducteurs. Il peut être utilisé pour effectuer des processus de dépôt, d'oxydation, de recuit, d'implantation ionique et de recuit. TEL ALPHA-303I est un équipement de four à tube monobloc équipé de chambres à double process. Il comporte une chambre principale et une chambre auxiliaire. La chambre principale est utilisée pour effectuer des processus d'oxydation, de dépôt et d'autres procédés de formation de dispositifs semi-conducteurs à diverses températures et réagit aux mélanges gazeux avec des plaquettes. La chambre auxiliaire est utilisée pour réaliser des opérations d'implantation ionique, de recuit et de gravure. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I dispose d'un système breveté de chargement de plaquettes à un étage qui permet de placer les plaquettes rapidement et facilement dans le four. Il est également équipé d'une commande moteur programmable qui permet un contrôle précis de la vitesse de dépôt et de l'homogénéité. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I est conçu avec une uniformité radiale de contrôle de processus, ce qui donne des performances supérieures sur-utilisation. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I est conçu avec des dispositifs de sécurité tels qu'une unité de contrôle de pression, qui empêche l'accumulation de gaz dangereux, et des vannes thermostatiques, qui régulent les niveaux d'oxygène pour assurer une sécurité maximale. En outre, le four est équipé d'intelligence embarquée et de systèmes de diagnostic avancés, tels que la Wymar Vision Machine en attente de brevet TEL, qui détecte une variété de problèmes de processus et d'opérateurs d'alerte. TOKYO ELECTRON Alpha 303i est capable d'atteindre des plages de température comprises entre 250 ° C et 1200 ° C et dispose d'une chambre de procédé intégrée capable de traiter jusqu'à sept plaquettes à la fois. Il est également compatible avec de nombreux équipements auxiliaires utilisés dans les procédés de production de semi-conducteurs, ce qui en fait une solution vraiment polyvalente pour la recherche et la fabrication de masse. Dans l'ensemble, TEL ALPHA 303 I est un four de diffusion avancé et un ensemble d'accessoires qui est fiable et utilisé par de nombreux fabricants de semi-conducteurs de premier plan. Il fournit une solution économique, fiable et uniforme pour la production de circuits intégrés avancés, de couches minces et d'autres dispositifs semi-conducteurs.
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