Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9311031 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i est un puissant four de diffusion haute performance et accessoires associés. Il est conçu pour la fabrication à haut rendement de dispositifs semi-conducteurs par des procédés intégrés tels que le recuit, CVD, et l'oxydation. Cet équipement est idéal pour une gamme d'applications de dispositifs semi-conducteurs tels que les interconnexions, l'isolation de tranchées peu profondes, MOSFET, et la fabrication de dispositifs émergents. TEL ALPHA-303I dispose d'une configuration en trois zones pour des performances élevées, une facilité de fonctionnement et une évolutivité adaptée aux besoins des clients. Ses tubes de four à quartz supérieur et inférieur sont divisés en deux zones distinctes et indépendantes. Le système est également équipé d'une zone basse chauffante inductive qui favorise un contrôle uniforme de la température afin d'obtenir un procédé optimal et des résultats. En outre, TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I est livré avec une variété de systèmes de contrôle pour assurer la sécurité et la précision. Il dispose d'un contrôleur PEC (Passivated Emitter Contact) pour le contrôle intégré de la pression de la chambre. Ceci minimise l'adhérence arrière des films chauffés. La conception avancée de TEL ALPHA 303 I favorise également les processus reproductibles et offre une répétabilité optimisée des processus dans un environnement stable. De plus, le four est équipé d'une unité d'auto-purge qui permet un échange rapide de gaz et réduit la réaction chimique des gaz résiduels avec des films chauffés. Il existe également une unité d'analyse de gaz qui est utilisée pour surveiller facilement les gaz présents à l'intérieur du four, contribuant ainsi à assurer des conditions de processus optimales. En outre, une unité optionnelle de traitement des gaz d'échappement peut être fixée à la zone supérieure. Enfin, TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I a une large portée de température, fournissant des températures jusqu'à 1150 ° C Il propose également des innovations telles que des soupapes de sécurité sous pression, des collecteurs de poussières pour le tube supérieur et des supports de travail refroidis pour le tube inférieur. Cela le rend adapté à une variété d'applications où un contrôle précis des paramètres de processus, un débit élevé et un rendement avancé sont essentiels. En résumé, le four de diffusion TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I est une machine très efficace qui facilite la fabrication de dispositifs à haut rendement. Il dispose d'une configuration en trois zones, d'une large plage de température et d'une variété de systèmes de contrôle qui garantissent la sécurité et la précision. Ces caractéristiques font de ALPHA-303 I le choix idéal pour une variété d'applications de dispositifs semi-conducteurs.