Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9379788 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9379788
Taille de la plaquette: 12"
Furnace, 12" Poly, K Type.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i est un four à double chambre, à haute température, à diffusion thermique sous vide utilisé dans le traitement des semi-conducteurs. Il est conçu pour assurer un contrôle thermique précis des conditions de traitement afin d'assurer l'uniformité des couches minces et d'autres interactions moléculaires. TEL ALPHA-303I dispose de deux chambres de source/drain indépendantes qui peuvent fonctionner à des températures différentes. Chaque chambre contient un système de chauffage indépendant avec isolation à haute température et contrôle de température de précision. La plage de distribution du four est de 40-1000 ° C avec une uniformité ± 5 ° C La zone chauffée est accessible avec des tubes en céramique et est équipée d'une gamme d'accessoires pour des contrôles plus précis. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I dispose également d'une serrure de charge active avec un clapet de protection pour maintenir l'azote et d'autres gaz dans la chambre de traitement. Le système de vide est capable d'atteindre une pression de base inférieure à 133 mTorr dans les deux chambres. En outre, le four est équipé d'un régulateur de débit de gaz et d'un manomètre vide/pression pour permettre une surveillance précise des paramètres du processus. Les étapes de chargement et de traitement des dépôts en couches minces peuvent être automatiquement séquencées à l'aide du logiciel de contrôle de processus In-Situ GEMs. Ce logiciel fournit également l'enregistrement des données et un ensemble complet de commandes pour le contrôle des processus. Le four est indexé avec une interface numérique RS-232 pour permettre la télécommande via un ordinateur personnel. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I comprend également une variété d'accessoires, tels que des élévateurs de plaquettes, des boîtes de transfert de plaquettes, des élévateurs de bateaux et des porte-échantillons. Ces accessoires permettent un chargement et un déchargement efficaces des matériaux. Le four comprend également un détecteur de fuite d'hélium intégré et un boîtier de protection thermique en graphite qui réduit le transfert de chaleur et la consommation d'énergie. Enfin, TEL Alpha 303i est conçu pour répondre à toutes les normes de sécurité pertinentes et dispose d'une variété d'indicateurs visuels et sonores pour alerter l'opérateur de toute erreur de processus. Le four dispose également d'un rideau d'air pour protéger l'opérateur pendant le fonctionnement. Ce four à diffusion avancée est idéal pour la R&D et la production de semi-conducteurs et d'autres composants nécessitant un traitement thermique précis. Avec sa construction robuste, son contrôle de température précis, ses zones thermiques réglables et son logiciel complet de contrôle des processus, TOKYO ELECTRON ALPHA-303I offre un niveau de performance inégalé.
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