Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9398273 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9398273
Taille de la plaquette: 12"
Furnaces, 12" 2005-2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i est un four à diffusion haute performance qui est utilisé pour des équipements sophistiqués pour l'oxydation terminale et CVD. Le dispositif est spécialement conçu pour la réalisation de dispositifs semi-conducteurs, y compris la mémoire vive dynamique (DRAM), la mémoire flash et la fabrication de dispositifs microélectroniques. Ce four de diffusion présente de nombreuses caractéristiques, telles qu'une impressionnante uniformité de température ± 2 ° C, un contrôle précis de la température avec une précision de pointage ± 1 ° C et une large plage de température de 200 ° C à 1200 ° C En outre, il a une conception légère et compacte de bol de chauffage de plaquettes avec une forme d'arc pour permettre un chauffage rapide de plaquettes. De plus, TEL ALPHA-303I est équipé de divers accessoires tels qu'un quai multi-gaz, un panneau à gaz et d'autres instruments périphériques. Il est également intégré à une boîte à gants TEL pour permettre la manutention efficace des plaquettes, l'approvisionnement en gaz de traitement et le contrôle de la production de vide. De plus, l'outil de bordure de soupe alphabétique permet un profil de bord lisse sur les portions traitées. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I est également équipé d'un contrôleur d'équipement qui permet un fonctionnement et une surveillance faciles et fiables. Cela comprend une interface opératoire intuitive et un système d'autodiagnostic capable de détecter automatiquement les erreurs. Il dispose également d'une unité d'arrêt haute pression pour protéger les plaquettes contre les dommages causés par une surpression. Enfin, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I est alimenté par une machine à polarisation continue, permettant le traitement des dispositifs FinFET. Au total, TEL Alpha 303i est un four de diffusion puissant et fiable qui convient parfaitement à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il offre un haut degré d'uniformité et de précision de la température, ainsi que divers accessoires pour un fonctionnement facile.
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