Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9412408 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9412408
Taille de la plaquette: 12"
Furnaces, 12" 2005-2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i est un four de diffusion et des accessoires utilisés pour le dépôt de films, le procédé par lots et le procédé monobloc. Cette unité est idéale pour créer des couches minces sur différents substrats tels que le silicium, l'oxyde et le nitrure. Il est efficace, rentable et capable de produire des films de haute qualité. TEL ALPHA-303I est composé de trois composants essentiels : le four de diffusion, la cassette de plaquettes et la chambre de verrouillage de charge. Le four de diffusion est une chambre étanche remplie d'un gaz à haute température, tel qu'un gaz inerte, de l'ammoniac et de l'hydrogène, pour atteindre des températures extrêmement élevées. Ceci sert à la fois à vaporiser le matériau et à le déposer sur le substrat. La cassette porte jusqu'à cinquante-quatre pièces de substrats de deux pouces et est chargée d'alimenter le four en matière. La chambre de serrure est utilisée pour transférer rapidement des substrats dans le réseau sans contamination. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I est configuré avec de nombreuses fonctionnalités avancées, y compris un contrôleur de température multi-zones, un équipement de chauffage de substrat, une tête de douche en quartz, et un puissant chauffage céramique à convection infrarouge. Le régulateur de température multi-zones permet la précision de la température et le contrôle à travers la chambre, tandis que le système de chauffage régule la température des substrats. La tête de douche en quartz assure une répartition homogène du gaz sur le substrat et contribue à améliorer l'uniformité du film déposé. Les chauffages à convection infrarouge en céramique assurent un chauffage précis et cohérent du substrat et donnent aux utilisateurs un contrôle complet de l'épaisseur et de la composition du film. Cette unité est également équipée d'une unité de sécurité conçue pour protéger les opérateurs contre les situations dangereuses. Il a une machine de sécurité intégrée pour empêcher l'accès non autorisé et un outil de contrôle de pression qui surveille la pression à l'intérieur de la chambre de diffusion. De plus, l'Alpha 303i possède un outil de surveillance qui mesure la température, la pression et d'autres paramètres à l'intérieur du four de diffusion, ainsi que des gaz médicaux et des systèmes d'échappement qui facilitent le fonctionnement sûr et efficace de l'unité. ALPHA 303 I est un four de diffusion et des accessoires puissants, fiables et maintenables. Il fournit un contrôle de température de précision et un processus automatisé pour produire des films de haute qualité pour une large gamme de substrats. Avec sa variété de fonctionnalités avancées, il est un choix idéal pour la recherche et les applications commerciales.
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