Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9071279 à vendre en France
URL copiée avec succès !
ID: 9071279
Diffusion furnace
Silicon Carbide
Vertical technology
Process tubes, tube, liner tubes, outer tubes
Pedestals
Boats, wafer carriers, carriers.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8 est un four de diffusion et accessoire, conçu pour apporter les performances les plus efficaces et économiques pour les opérations de dépôt en couches minces. TEL Alpha 8 dispose d'une gamme complète de capacités de traitement avancées et d'une architecture de contrôle révolutionnaire qui rend la configuration, le réglage et la surveillance du four plus facile et plus efficace que jamais. Le logiciel ergonomique et intuitif permet aux opérateurs d'ajuster rapidement et avec précision les paramètres, les programmes et les données d'accès. La conception exclusive à faibles émissions fournit un four propre et efficace qui produit un produit de qualité constante. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 dispose d'une chambre spacieuse conçue pour accueillir jusqu'à quatre plaquettes de 2 po de diamètre et de grands substrats. Le design spacieux permet beaucoup d'espace pour ajuster les sources de beignets et autres éléments situés dans la chambre. La capacité à haute température de TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 atteint un maximum de 1275 ° C pour les applications thermiques rapides (RTP) et jusqu'à 50 ° C pour les applications statiques. La construction à double paroi offre une excellente isolation entre les parois, évitant la perte de chaleur et maximisant l'uniformité de température. La chambre chauffée est équipée d'une source de vapeur pour introduire des réactifs dans le système, en plus d'une vanne d'arrêt à trois voies brevetée qui permet d'isoler et de purger la chambre à tout moment. L'uniformité de température des ALPHA-8 est maintenue grâce à un système d'échappement avancé qui peut être ajusté pour une variété de techniques de dépôt. Le système intégré d'enregistrement des données permet aux opérateurs d'examiner les données passées pour étudier les paramètres gênants ou effectuer des ajustements de processus. Les paramètres, programmes et paramètres peuvent être enregistrés dans une carte mémoire, ce qui permet aux utilisateurs de transférer rapidement et facilement des informations de programme à plusieurs unités TOKYO ELECTRON Alpha 8. L'utilisation d'un compteur de résistivité embarqué fournit une rétroaction sur la résistance au film, permettant aux utilisateurs de suivre les changements dans les conditions de processus et d'ajuster les réglages à la volée si nécessaire. Pour assurer une productivité optimale, TEL ALPHA-8 est équipé d'un contrôleur multi-zones pour contrôler plusieurs zones avec un seul contrôleur. Alpha 8 offre aux utilisateurs un certain nombre de fonctionnalités supplémentaires facultatives telles qu'un suscepteur rotatif de plaquettes pour le dépôt angulaire, une fenêtre à quartz pour observer le dépôt du film et une source d'ions pour les applications RTP. Toutes ces fonctionnalités offrent des capacités avancées pour répondre à un large éventail de besoins et de processus. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8 fournit aux utilisateurs un four et un accessoire de diffusion avancés et fiables pour répondre à tous leurs besoins de dépôt. TEL Alpha 8 est un choix économique et sûr avec des fonctionnalités intuitives, une architecture de contrôle avancée, un contrôle multi-zones et une excellente uniformité de température.
Il n'y a pas encore de critiques