Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9373152 à vendre en France
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Vendu
ID: 9373152
Furnace, 8"
Process: Alloy
I/O Port
(126) Process wafers
No load lock
25-Carrier slots
Boat type: Single
PS4100Z Controller
Operation screen: Touch screen
Gas flow chart: Front and rear
M120 Temperature controller
Controller transformer: 208 V, Single phase
Heater transformer: 208 V, 3-Phase
Gases:
Gas 1: PN2
Gas 2: FO (4%, H2/N2)
Gas distribution:
Basic style: Conventional
Tubing material: SUS-316L
Tubing finish: VCR
Air operated valve: FUJIKIN
AERA MFC
No cold trap
No pump line
Exhaust distribution:
Air operated valve type: VCR Connect
Main valve: FUJIKIN
Wafer / Cassette handling:
No wafer alignment
(16) Cassette storage
Cassette In/Out port
Cassette handling robot
Wafer transfer
Fork material: Ceramic
Elevator handling:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical parts
Heating chamber:
Heater type: VMM-35-001
(5) T/C Type
(5) Spike T/C.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8 est un four et des accessoires de diffusion à la fine pointe de la technologie, idéal pour l'ingénierie à petite échelle, la science des matériaux et la microélectronique. Il combine un débit élevé, une production fiable et des performances supérieures afin de répondre aux exigences les plus exigeantes. TEL Alpha 8 utilise une source horizontale à quatre zones et une conception avancée de la ceinture de wafer. Cette conception permet d'augmenter le débit jusqu'à 36 plaquettes par heure avec des temps de traitement longs. Il dispose d'un écran tactile couleur de 10 pouces pour surveiller et contrôler tous les paramètres du système. L'unité peut être programmée pour s'auto-ajuster à différentes conditions de processus, rendant l'étalonnage rapide et précis. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 fonctionne à une température maximale de 1045 degrés Celsius et dispose de systèmes de chauffage RF à double état solide et de multiples sources de gaz pour un contrôle précis de la température. Il offre également un système de guide de gaz inerte qui lui permet à la fois de chauffer et de refroidir la chambre. Les dispositifs de sécurité intégrés comprennent des dispositifs de verrouillage contrôlés par micro-ordinateur, la surveillance de la pression, la surveillance de la température et un système spécial d'arrêt d'urgence à basse température. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 dispose d'une large gamme d'accessoires tels que des panneaux de gaz, des régulateurs de pression, un moniteur de processus, un enregistreur de données et des unités d'expansion et de chargement distinctes. Une serrure chauffante est également disponible, permettant une transition rapide de la température d'un procédé à l'autre. L'unité est conçue pour répondre aux exigences de sécurité internationales les plus strictes et est conçue pour résister à l'usure quotidienne. Dans l'ensemble, Alpha 8 est un excellent choix pour les chercheurs et les ingénieurs qui ont besoin d'un four de diffusion sûr et fiable. Il offre des performances supérieures et un contrôle de précision pour une grande variété d'applications de la science des matériaux et de la microélectronique, et son fonctionnement sophistiqué et ses caractéristiques de conception uniques en font l'un des principaux fours sur le marché aujourd'hui.
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