Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803 #293609357 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803 est un four à diffusion haute performance, conçu pour des procédés innovants et optimisé pour le développement de dispositifs semi-conducteurs haut de gamme, la production précise et la rentabilité. TEL Alpha 803 est équipé d'un processeur de signal numérique haute vitesse (DSP) pour un contrôle précis de la température et une optimisation des paramètres. La température maximale de 1100 ° C avec une uniformité de 3 ° C est atteinte grâce à sa chambre à tube en quartz refroidi à l'hélium avec isolation à quatre faces, ce qui la rend apte à la production en masse de dispositifs semi-conducteurs avancés tels que microprocesseurs, puces à mémoire et transistor de puissance. Ce four de diffusion est unique dans sa gamme de compatibilité, supportant une grande variété de matériaux semi-conducteurs et de combinaisons de substrats. La plage de température de TOKYO ELECTRON Alpha 803 est de 50 à 1100 ° C, ce qui la rend adaptée aux processus de diffusion au niveau de l'appareil. Avec le chauffage à double zone, la différence de température entre les différentes parties de la plaquette peut être contrôlée plus précisément et efficacement. Le four est également équipé d'un système de réponse rapide, qui augmente l'uniformité thermique sur la dalle et permet un chauffage rapide sans dommages thermiques. Alpha 803 est livré avec un ensemble d'accessoires avancés, y compris un vaporisateur pour le traitement des vapeurs de solvants, une chambre d'oxydation/combustion pour les traitements plasma haute fréquence, et un moniteur de réaction pour surveiller les réactions chimiques et donner des commentaires sur les vitesses de diffusion. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803 a également une capacité extrêmement basse pression permettant un placage ex situ à partir de la chambre de vapeur, même dans des conditions extrêmes de basse pression. Ceci est particulièrement intéressant pour la fabrication des plaquettes, car la vitesse de placage est plus rapide et les dommages aux dispositifs minimisés. Le système de refroidissement actif automatisé TEL Alpha 803 permet une stabilité et une uniformité de température élevées, une évolutivité des systèmes clairvoyants, ainsi qu'un conduit d'échappement auto-détecté pour un traitement évacué à haut flux. Les fonctions d'enregistrement intégrées du programme du four sont également utiles pour suivre et rappeler les processus passés et les dossiers historiques, ce qui permet une optimisation efficace des processus. TOKYO ELECTRON Alpha 803 est un four de diffusion convivial, fiable et puissant adapté à la fabrication et à la production de dispositifs semi-conducteurs haut de gamme. Avec ses caractéristiques avancées, il est capable de produire des plaquettes de haute qualité avec des écarts de température extrêmement bas, ce qui est essentiel pour l'implantation de micropuces. En conséquence, Alpha 803 est particulièrement utile pour les industries ayant des besoins de production à grande échelle.