Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803D #9261383 à vendre en France

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ID: 9261383
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
Horizontal diffusion / Oxidation furnaces, 8" Process: Pyro Load lock Heater Stoker Cable duct (3) Panels Flange TS-4000Z TC Junction GPP Panel Process tube SiC Boat (2) Gas nozzles (3) Insulations (3) QUARTZ Parts Shutter QUARTZ Outer tube Insulation: Panel Mad Tube: Pyro Insulation Box: Relay Power Pipe: Vent Gas 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803D est un four de diffusion et des accessoires de pointe qui est conçu pour fournir des procédés de dépôt de films et d'implantation ionique pour la fabrication de dispositifs microélectroniques. Il s'agit d'un système de four à double chambre à mobilité verticale à diffusion améliorée qui offre un contrôle de processus supérieur qui permet une croissance optimale du film dans des délais de dépôt réalisables. L'unité de four à diffusion TEL Alpha 803D est dotée d'une conception unique à source unique et à double chambre qui fonctionne avec des procédés à masse limitée et à charge lourde pour améliorer l'uniformité, une machine thermique plus efficace, des flux améliorés d'espèces précurseurs, des variations d'épaisseur de couche réduites et des performances de diffusion supérieures. De plus, l'outil TOKYO ELECTRON Alpha 803D comprend un contrôleur logique programmable (PLC) haut de gamme qui offre un contrôle complet de toutes les fonctions de l'actif, y compris la température, la pression et les réglages temporels, ainsi que des fonctions de sécurité intégrées pour la protection personnelle. La chambre de four du modèle Alpha 803D est en acier inoxydable de 0,04 pouce (1 mm) et offre une plage de température de 100 à 1 200 degrés Celsius (212 à 2 192 degrés Fahrenheit). La chambre est en outre équipée de la technologie de contrôle MIMOT-amélioré, qui est conçu pour fournir la flexibilité et la précision lors du contrôle de la température et de l'uniformité dans toute la chambre. La technologie de mobilité renforcée (EMT) est un équipement exclusif de contrôle de la mobilité qui permet de produire des taux de dépôt très uniformes, fins et reproductibles tout en offrant une durée de vie de diffusion accrue. Avec toutes ses fonctionnalités avancées, le système TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803D offre une précision, une uniformité et une répétabilité supérieures lors des processus de dépôt, de gravure et d'implantation. L'unité TEL Alpha 803D comprend également une gamme complète d'accessoires spécialisés, y compris des capteurs in situ, une machine d'analyse de particules à haut rendement, un outil de diagnostic optique en temps réel et un équipement multi-canaux de distribution de gaz. Ces accessoires améliorent considérablement la flexibilité et la performance de l'actif, tout en offrant un degré de sécurité et de fiabilité exceptionnellement élevé. En outre, le modèle TOKYO ELECTRON Alpha 803D comprend une chambre CVD avancée, qui travaille à produire le plus haut degré de qualité et d'uniformité de dépôt afin de permettre une grande variété d'applications de fabrication de dispositifs. Dans l'ensemble, l'équipement Alpha 803D est un choix idéal pour la fabrication avancée de dispositifs microélectroniques. Il dispose d'un contrôle de température et d'uniformité exceptionnellement élevé, d'une flexibilité inégalée avec sa technologie de contrôle CVD et MIMOT-amélioré, et d'une gamme complète d'accessoires spécialisés pour fournir une expérience de fabrication efficace et fiable.
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