Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803D #9287449 à vendre en France
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Vendu
ID: 9287449
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1992
Furnace, 8"
Power box
Heater
Terminal box
Box 1:
Flange
Outer ring
Exhaust valve
Water pipe
Flange caver
Manometer panel
Sweismic fittings
Dact:
Cable
(2) P/B Ceiling
(2) Exhaust
Box 2:
Process tube
Tube ring
Gas nozzle
Pyro tube
Sic boat
Thermal barrier block
Screw
Shater QUARTZ
Ring
Box 3:
Outer tube
Insulation tube
Puartz QUARTZ
Parts
Pipe:
Vent
Gas
1992 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803D est un four de diffusion et des accessoires de pointe conçus pour la fabrication et le développement de dispositifs semi-conducteurs modernes. Cette gamme de produits fait partie de la gamme de fours de diffusion TEL et offre un contrôle et des performances inégalés. TEL Alpha 803D est un outil polyvalent pour la production et le développement, avec un contrôleur d'entrée de thermocouple intelligent pour le profilage de température et un processeur de signal numérique puissant qui tient compte de la flexibilité du processus. Le four est équipé d'un puissant matériel informatique en temps réel et d'un logiciel de contrôle et de mesure de zone en boucle fermée. TOKYO ELECTRON Alpha 803D utilise deux chambres de procédés à haute résistance - un creuset intérieur et une zone extérieure - qui présentent des températures uniformes avec une excellente stabilité. La zone extérieure est pilotée par un moteur à fréquence variable, et comprend l'ID et l'OD, le PID et le contrôle temporel. Le régulateur d'entrée de thermocouple fournit le profilage de température avec 5 courbes, y compris l'auto-réglage, la manipulation de courbe et la rétroaction en temps réel. Alpha 803D est conçu pour assurer des résultats fiables et reproductibles dans des applications telles que la diffusion, l'oxydation, la nitridation, l'alliage, le recuit et d'autres traitements semi-conducteurs. Avec une plage de température allant jusqu'à 1000 ° C, une précision de contrôle de ± 2 ° C et une uniformité de ± 3 ° C, ce système fournit des résultats de plaquette cohérents et de haute qualité. Il comprend également un calendrier de processus automatisé pour faciliter le fonctionnement, et fournit des commentaires détaillés et une analyse de l'ensemble du processus. Les autres caractéristiques de TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803D comprennent une unité de distribution multi-gaz, un moniteur air/gaz en option et une machine de détection des fuites pour la sécurité, un moniteur CCD haute température et un choix de suscepteurs. Les performances supérieures de cet outil sont encore améliorées grâce à sa technologie d'isolation, de protection contre les fuites et d'étanchéité des chambres. En résumé, TEL Alpha 803D est un four de diffusion avancé qui offre une précision, une fiabilité et une reproductibilité supérieures à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Son atout de livraison multi-gaz, son calendrier de processus automatisé et ses capacités de profilage et de contrôle de la température en font un outil inestimable pour le développement et les applications de production.
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