Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SD #293622216 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803SD four de diffusion est conçu pour fournir une excellente uniformité de produit et des besoins spécialisés d'oxydation et de diffusion. Ce four de diffusion peut être utilisé pour piloter divers procédés, y compris l'oxydation et la diffusion thermiques, la formation de jonctions peu profondes et la formation d'oxydes de grille. TEL Alpha 803SD est un four de diffusion de type vertical très efficace avec une large gamme de procédés. Sa conception de navette à double cassette permet d'augmenter le débit en raccourcissant les temps de processus et en éliminant le besoin de transfert manuel. Un nouveau système de contrôle de l'uniformité assure un contrôle efficace de l'uniformité (UC) en appliquant un programme UC spécial. TOKYO ELECTRON Alpha 803SD est équipé d'un système de contrôle thermique avancé qui maintient le contrôle de processus haute performance sans sacrifier d'autres procédés. Le système de contrôle thermique minimise les variations dues aux changements dans les conditions environnementales tout en assurant un contrôle efficace des processus. En outre, la fonction de réglage à banques multiples permet le traitement de grandes surfaces et la production de petits lots avec une précision améliorée, permettant des processus efficaces et fiables. Alpha 803SD dispose également d'une fonction de traitement thermique à basse température pour obtenir le budget RTA et thermique désiré. Ce traitement thermique à basse température permet d'améliorer des caractéristiques telles que le contrôle stoechiométrique de l'oxyde, le contrôle de l'interface diélectrique/métallique et la rugosité de surface. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803SD est également livré avec diverses autres fonctionnalités, telles que le remplissage des sources chimiques, le chauffage des voies et des plates-formes, le pompage chimique automatisé, divers ports d'entrée/sortie et systèmes de régénération sous vide. Cette large gamme de fonctionnalités permet une flexibilité et une précision accrues dans l'achèvement d'une variété de processus. Le four de diffusion TEL Alpha 803SD est un produit de pointe conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes en matière de processus de diffusion. Sa large gamme de procédés et ses contrôles efficaces garantissent l'uniformité des produits, tandis que son réglage à banques multiples et ses fonctions de traitement thermique à basse température en font un outil essentiel pour atteindre divers objectifs de processus avec une grande précision.