Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805C #293642578 à vendre en France
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ID: 293642578
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
Furnace, 8"
Process: TEOS
Wafer: Flat zone type
Gases configuration:
Gas supply:
Gas name / Pressure / Connection method / Unit
PN2 / 1/4" UJR / Utility box
O2 / 1/4" UJR / Utility box
TEOS / 1/4" UJR / Utility box
Exhaust:
Type of Exhaust / Flow rate
Scavenger exhaust / 3 m³/min
Process exhaust / 1 m³/min
Gas room exhaust / 1 m³/min
Cooling water:
Gas name / Pressure / Flow rate / Connection method / Used for
Furnace unit / 5 Kg/cm² / 15 / 3/4" SWG / Heater, flange
Power supply:
UPS:100 V, Single Phase, 3 kW (Controller)
Power: 208 V, 3 Phase, 30 kW (Heater chamber)
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805C est un four de diffusion polyvalent avec une gamme d'accessoires pour supporter un large éventail d'applications. Il est conçu pour fournir la régulation de température la plus précise disponible dans un emballage standard. TEL Alpha 805C permet des processus thermiques précis de tous les substrats de 200 à 1250 ° C avec une grande uniformité sur la plaquette. Il possède des capacités d'oxydation, de LPCVD et de traitement thermique rapide et peut être complété par de l'azote, du triméthylborate d'azote (NTMBS), de l'ammoniac (NH3), de l'hydrogène et du chlore à haute température. Les fours de diffusion TOKYO ELECTRON Alpha 805C sont dotés d'un système d'enroulement de chauffage innovant qui assure une gestion précise de la température et une uniformité. Ce système aide à réduire la consommation de gaz grâce à un meilleur contrôle de la température et est très efficace, fournissant des températures de fonctionnement maximales pour les processus d'oxydation et de LPCVD. Afin de maximiser l'uniformité de température, deux zones de gaz permettent un contrôle précis de la température à travers la plaquette. La conception permet également de contrôler l'atmosphère du four et de réduire les gradients thermiques. Alpha 805C est conçu pour un fonctionnement rapide et efficace et est capable d'une production à haut débit. Il a un temps de cycle rapide et peut gérer de grands lots de production avec des temps de cycle courts. À des fins de sécurité, le four est construit avec des capteurs de sécurité robustes qui peuvent détecter tout surintensité, court-circuit et incohérences dans les gaz de procédé. Avec son grand épurateur d'hydrocarbures hybride in situ, TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805C offre un environnement propre pour un fonctionnement sûr et efficace. Le four est également conçu avec des options de condenseur de refroidissement et peut être équipé de ventilateurs d'échappement externes pour aider à réduire les fluctuations de température à l'intérieur. L'affichage couleur de 7 segments sur le panneau de commande fournit des indications claires sur l'état du fonctionnement du four. TEL Alpha 805C est également capable d'opérer en plusieurs étapes et de générer des recettes de processus. TOKYO ELECTRON Alpha 805C est une option idéale pour les applications de production de gros volumes et offre un excellent contrôle de la température, des délais de traitement rapides et une uniformité supérieure. Avec son design personnalisable et sa variété de fonctionnalités, les utilisateurs peuvent facilement personnaliser pour répondre à leurs besoins exacts. Alpha 805C est le choix idéal pour les procédés de diffusion et les procédés thermiques de haute précision.
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