Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805C #293756811 à vendre en France
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ID: 293756811
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
Furnaces, 8"
Type: LP-CVD
Process: TEOS
FUJIKIN Air valve
VMM-35-001 Heater
MFC, MFM: STEC
Gases: PN2, O2, TEOS
Operating panel
Gas flow chart panel
Panel switcher
Hardware switches
Floppy Disk Drive (FDD)
Heater chamber
Process tube (Reaction tube)
Auto-door
I/O Port
Cassette transfer
Stocker
Transfer stage
Wafer transfer
Boat elevator
Auto shutter
Scavenger
Cooling water unit
Temperature controller
Machine and pressure controller
Boat stage
(5) Fork
Signal tower
Manifold
Display
Power control system
Gas unit
Vacuum sensor
ETC
Power:
3 Phase, 208 VAC
Single Phase, 100 VAC
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805C est un four de diffusion avec une variété d'accessoires pour le chauffage et la gravure contrôlée des substrats. La chambre principale est pressurisée et divisée en deux zones chauffées distinctes pour une précision maximale et un contrôle des conditions du procédé. La chambre principale est équipée de deux éléments chauffants commandables indépendamment, de sorte que deux températures de processus différentes peuvent être maintenues respectivement dans la chambre principale et dans la chambre auxiliaire. La chambre principale dispose de deux étagères réglables manuellement et d'un orifice d'injection de gaz réglable. La chambre auxiliaire dispose d'un capteur de pression réglable manuellement et d'un tuyau d'échappement de gaz. Le four de diffusion TEL Alpha 805C est alimenté par une alimentation monophasée en courant alternatif 200V/220V ou 50/60 Hz, et il est équipé de plusieurs dispositifs de sécurité. Un voyant LED et un buzzer avertissent l'opérateur en cas de conditions anormales. TOKYO ELECTRON Alpha 805C dispose d'un écran graphique LCD intuitif pour un suivi facile des conditions du processus. L'affichage comprend également le stockage des données de la recette de processus et permet un suivi facile des paramètres clés du processus. Il fournit également des consignes de température de précision et de maintien de la température tout au long du processus, permettant des traitements de diffusion précis et cohérents. Le four de diffusion Alpha 805C comporte plusieurs accessoires pour la gravure et le dépôt de couches minces. Il s'agit notamment de paniers de gravure pour contenir des substrats, de chemises en quartz pour contrôler la vitesse de gravure, et de tiges d'accrochage pour ajuster la distance entre les substrats. Il est également livré avec divers raccords d'entrée de gaz pour les processus de gravure et de dépôt. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805C est également équipé d'une variété d'accessoires pour surveiller et contrôler le processus de gravure. Le choix de l'accessoire comprend des débitmètres à oxygène et à argon et des vannes de commande, des thermocouples, ainsi qu'un contrôleur PID automatisé. Le four de diffusion TEL Alpha 805C est capable de traitements thermiques et de gravures de haute précision reproductibles. Il est conçu pour être utilisé dans des processus de gravure à volume élevé et répétables et convient pour fonctionner dans des environnements de processus à vide élevé. Ce four de diffusion fournit des résultats fiables et précis et peut être utilisé dans un large éventail de contextes industriels, de laboratoire et éducatifs.
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