Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293622217 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CN est un four de diffusion conçu pour produire des semi-conducteurs. Il est idéal pour diverses applications telles que l'oxydation thermique, la formation de nitrure de silicium et l'oxydation de jonction. TEL Alpha 805CN est un four à diffusion lourde équipé d'un tube à quartz vertical, d'un mécanisme de déparaffinage mécanique in situ et d'un collecteur de gaz de four optionnel. Le tube de quartz est très résistant à la contamination des plaquettes de silicium et fournit un excellent contrôle thermique et de procédé. Le tube est conçu avec une entrée en forme spéciale, supporté par deux ressorts et chauffé par des électrodes de douche pour favoriser une meilleure uniformité. Le collecteur de gaz du four assure un contrôle du débit de gaz, permettant de séparer les gaz de déchets et d'entrée, ainsi que des contrôles de refroidissement et de pression d'air distincts. Il dispose également d'une commutation indépendante des principaux systèmes d'échappement et de recyclage. Le dewaxer mécanique intégré comprend un équipement d'épuration spécialisé, qui élimine les particules fugitives et les contaminants. TOKYO ELECTRON Alpha 805CN est également équipé de TEL KVM-eXView (Knowledge-how Valuable & Maintenance-enhanced eXtreme View), permettant aux opérateurs de surveiller l'état des plaquettes, les conditions de traitement et les conditions de maintenance localement ou à distance via un accès web. Le four est conçu pour une installation facile dans une grande variété d'environnements. Les caractéristiques supplémentaires d'Alpha 805CN comprennent un système d'échange automatique de plateaux, une taille d'ouverture réglable et une unité de charge flottante afin d'optimiser la fiabilité du processus. Le processus d'oxydation sélective est contrôlé par la machine de contrôle d'uniformité (UC) brevetée TOKYO ELECTRON, qui aide à réduire les contraintes et les défauts des couches de câblage métallique lors des processus LPCVD. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CN offre une large gamme de solutions d'uniformité de température et de rendement. Il offre de superbes performances d'uniformité sur une large gamme de températures de processus, y compris les procédés à basse température. Il est également capable de traiter des températures plus élevées sur une plage limitée tout en conservant une excellente homogénéité. Le four est capable de maintenir des températures allant jusqu'à 1 200 ° C avec une uniformité de +/- 0,3 ° C/W. Dans l'ensemble, TEL Alpha 805CN est un four de diffusion puissant et fiable qui est idéal pour la production de semi-conducteurs. Il est doté d'un design robuste, d'une excellente uniformité thermique et de fonctions de contrôle complètes. Combiné à son élimination efficace des déchets et à son collecteur de gaz optionnel, TOKYO ELECTRON Alpha 805CN est le choix idéal pour tout procédé de fabrication de semi-conducteurs.