Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293651966 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CN est un four de diffusion conçu pour maximiser l'efficacité. Ce four robuste et fiable offre un contrôle uniforme de la température, une chaleur rapide et un contrôle précis des paramètres importants. TEL Alpha 805CN est adapté à diverses applications de diffusion telles que la croissance épitaxiale, la silicisation, le dépôt de poly-silicium et l'implant. Ses caractéristiques comprennent un tube en quartz de forme irrégulière efficace, une conception à haute température, un porte-plaquettes Multi-Ion-Liner (MIL) et des capteurs de température de type E. TOKYO ELECTRON Alpha 805CN est capable d'atteindre 1600 ° C en seulement quatre minutes et un contrôle uniforme de la température sur toute la surface de la plaquette. Alpha 805CN soutient également le processus SAGF (Substrat Assist Gas Flow) pour une plus grande uniformité dans le contrôle de la température et dans le dépôt de poly-silicium. La MEL multi-zone (Multi-zone External Lift) améliore le profil de température uniforme, ainsi que les processus de croissance répétables et contrôlables. Le contrôle de la température de TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CN est assuré par l'utilisation de régulateurs de température ; capteurs de température et technologie des capteurs thermiques. Les capteurs de température de type E offerts par TEL Alpha 805CN sont capables de mesurer des températures inférieures à la température ambiante jusqu'à 1600 ° C Ce four offre également la possibilité d'utiliser le régulateur de température de type L (Length) - un dispositif flexible, abordable et efficace qui garantit un contrôle précis de la température et l'uniformité. Pour une approche multi-zones, TOKYO ELECTRON Alpha 805CN offre une segmentation à 4 zones qui peut également être facilement connectée et contrôlée à l'extérieur. Ce four offre également différentes options pour configurer et concevoir vos propres recettes pour la diffusion. De plus, Alpha 805CN offre un élévateur chimico-mécanique (LMC), un système LIN (Basse Pression Interne) et plusieurs options de contrôle du débit de gaz. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CN offre également les caractéristiques de sécurité suivantes : un interrupteur de protection contre la surcharge, un enregistreur électrique, un détecteur automatique à basse pression, un détecteur automatique à haute température, un thermocouple d'urgence et un refroidissement d'air pour le tube à quartz. Ces caractéristiques assurent un fonctionnement sûr du four et réduisent les risques potentiels associés au processus de diffusion. Globalement, TEL Alpha 805CN est une solution efficace pour la métallisation, l'épitaxie et d'autres processus de diffusion. Il est bien équipé avec les composants nécessaires pour permettre des opérations rapides, efficaces et précises pour une variété d'applications.