Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805D #293806762 à vendre en France
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ID: 293806762
Furnace
Gas box
Exhaust box
Jig heater parts
(2) Pallets:
Heater
Quartz.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805D est un four à diffusion et accessoire utilisé pour la production de puces semi-conductrices et d'autres composants électroniques. Il est conçu pour fournir une haute température et une grande précision pour un large éventail d'applications telles que le dopage, l'oxydation thermique et le recuit. TEL Alpha 805D est spécialement conçu pour le fonctionnement à haute température et peut atteindre des températures allant jusqu'à 1800 ° C Sa capacité à reproduire avec précision les températures le rend idéal pour des processus de production d'un volume élevé. Le système est équipé d'un régulateur de température qui a des capacités précises à haute constante thermique, permettant une répartition thermique uniforme et des gradients thermiques ± 2 ° C, permettant au four de fonctionner au plus haut niveau de précision et de précsion. TOKYO ELECTRON Alpha 805D peut être utilisé pour toute une gamme d'opérations de diffusion, y compris le dopage par scission légère (LSD), l'oxydation par voie humide à haute pression (HPWO) et l'oxydation par voie sèche à basse pression (LPDO). Le LSD est une forme de dopage qui utilise un gaz léger pour provoquer des réactions chimiques dans le matériau du substrat entraînant une vitesse de diffusion plus rapide et un budget thermique plus faible. Le HPWO est un procédé d'oxydation qui utilise des agents d'oxydation à haute pression et humide tels que l'oxygène ou le gaz ozone qui sont pré-mélangés dans une solution, puis pompés dans le four. Cela permet de réaliser le processus d'oxydation plus rapidement et plus efficacement qu'avec les méthodes traditionnelles. Enfin, le LPDO est un procédé d'oxydation à sec qui utilise un gaz d'oxydation à basse pression, à basse température, tel que l'azote, et qui utilise un budget thermique plus faible. Avec Alpha 805D, des traitements très uniformes et à haute température peuvent être réalisés avec une grande précision. Il est spécifiquement conçu pour être utilisé avec un large éventail de substrats et de matériaux, y compris les substrats SiC, GaAs et GaN. En outre, TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805D est facilement intégré dans les systèmes existants et peut être intégré avec des dispositifs de commande VSC-8300, VSC-3000 et VSC-1800 pour améliorer la précision et le contrôle. TEL Alpha 805D dispose également d'un certain nombre de dispositifs et de protocoles de sécurité, y compris des fonctions d'arrêt automatique et d'intervention d'urgence pour garantir les niveaux les plus élevés de sécurité et de fiabilité. De plus, le four est construit avec une chambre de chauffage en acier inoxydable et un gaz inerte pour une durabilité supérieure et la réduction des dommages. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Alpha 805D est un système polyvalent et fiable qui offre une gamme de caractéristiques pouvant être utilisées pour une grande variété d'applications. Son haut niveau de précision et de précision, ainsi que sa sécurité et sa fiabilité, en font un outil idéal pour la production et la fabrication de composants électroniques et de puces semi-conductrices.
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