Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805DN #293651972 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805DN est un système de four à diffusion haute performance qui peut être utilisé pour le traitement thermique des dispositifs semi-conducteurs et MEMS. Ce four est équipé d'un procédé au nitrure à basse pression et est adapté à la réalisation d'une large gamme de procédés thermiques, tels que le recuit, la gettering et l'atmosphère active. Il a une température maximale de fonctionnement de 1100 ° C, et une capacité de température maximale de 1200 ° C lors de l'utilisation de la mise à niveau de chambre en option. TEL Alpha 805DN est capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 1000 ° C pendant de courtes périodes, en quelques secondes de temps de montée en puissance. Il offre également un accès facile au substrat, permettant la manipulation de petites pièces dans un environnement sûr et propre. De plus, ce système offre une excellente uniformité des températures du substrat et une faible consommation d'énergie. Le four est composé d'une chambre en acier inoxydable robuste, qui est livré avec une fenêtre en quartz de haute pureté et un ensemble de broches de levage en quartz. La porte de la chambre est en un matériau inoxydable utilisable, qui offre une longue durée de vie. Les broches de levage sont conçues pour aider à poser des substrats individuels sur la plaquette de procédé et promouvoir un chauffage uniforme, ce qui contribue à assurer des résultats cohérents pendant les processus thermiques. Afin de favoriser une température uniforme sur toute la surface du substrat, TOKYO ELECTRON Alpha 805DN utilise une vanne d'entraînement direct à haut rendement. Cela offre un mécanisme facile à utiliser et fiable pour contrôler de façon cohérente les paramètres du processus et fournir des résultats uniformes. Il est conçu pour maintenir la plus grande uniformité de température possible par rapport aux autres fours classiques. Alpha 805DN est également livré avec plusieurs accessoires, dont un puissant ventilateur d'échappement pour éliminer efficacement les gaz indésirables, un bras de plaquette pour maintenir une plaquette en place pendant le processus, et un module d'entrée de dioxyde de carbone de haute pureté pour introduire le gaz dans la chambre. Afin de faciliter un bon débit de gaz, TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805DN est équipé d'un régulateur d'atmosphère préprogrammable et d'un ensemble de soupapes de régulation de pression. Ces soupapes permettent une programmation précise et contrôlée des gaz d'entrée et d'échappement à différentes pressions. Ce système est également équipé d'une isolation céramique à longue durée de vie, ce qui permet d'assurer un bon rendement thermique et des processus de chauffage et de refroidissement rapides. Globalement, TEL Alpha 805DN est une solution idéale pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Il offre une excellente capacité de traitement, des températures d'homogénéité élevées et une faible consommation d'énergie, ce qui fait de ce four très efficace le choix idéal pour les besoins des procédés thermiques.