Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808D #9026275 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808D est un four de diffusion et un accessoire utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs pour déplacer des dopants et d'autres contaminants entre les couches d'un substrat. Le four de diffusion TEL Alpha 808D offre des capacités de gestion thermique supérieures pour des processus à haut débit tels que l'oxydation, le pré-nettoyage et l'épitaxie. Le four est disponible en trois configurations de modules : les modules Simple, Double et Triple. La conception du module unique est adaptée à une utilisation dans des scénarios de production de moyen à faible volume. Les modules Double et Triple offrent la flexibilité et l'évolutivité nécessaires pour répondre aux besoins de production. TOKYO ELECTRON Alpha 808D offre une construction verticale avec plusieurs fours intégrés. Le four offre jusqu'à 18 zones chauffées et cinq régulateurs de débit massique (MFC) et le contrôle de la température. Le contrôle combiné de puissance permet une plage de température plus large pour chaque zone avec une température maximale de 2.000 ° C Le temps de latence du système intégré de 3 msec aide à réduire les pertes et à améliorer la température et l'uniformité des particules. Le four de diffusion Alpha 808D utilise une conception standard de l'industrie pour les interfaces et les protocoles. Cela permet de l'intégrer facilement dans les outils et systèmes de processus existants. L'architecture basée sur le châssis facilite l'installation et l'entretien. Le four est conçu pour des charges allant jusqu'à 65 kg, avec la possibilité d'augmenter la capacité de charge en utilisant un élément chauffant de fond en option. Il peut également accueillir une variété de tailles de substrat telles que 200mm, 150mm et 125mm de diamètre. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808D four de diffusion est conforme aux dernières normes de sécurité et fournit un environnement de protection pour l'utilisateur et le système. Un large éventail de fonctionnalités supplémentaires telles que le suivi des processus, la surveillance de la rétroaction des gaz d'échappement, le profilage des pixels et le contrôle de la contamination sont disponibles dans le système. Dans l'ensemble, le four de diffusion TEL Alpha 808D et ses accessoires connexes offrent un moyen fiable, efficace et rentable de traiter les processus à haut débit. Il offre une plus grande uniformité de température et d'uniformité des particules, ainsi que d'excellentes capacités de gestion thermique, ce qui en fait un excellent choix pour une production de volume moyen à élevé.