Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC-Z #9083658 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SC-Z est un four de diffusion équipé d'une variété d'accessoires pour faciliter le traitement des plaquettes. Ce four de diffusion est une mise à jour du modèle populaire Alpha 808SC. Il présente une homogénéité de température améliorée et un contact avec les plaquettes, ce qui le rend idéal pour la croissance épitaxiale et les processus thermiques les plus exigeants. Le four est conçu avec une structure verticale et un choix de deux atmosphères contrôlées : N2 (azote) ou mixte N2/H2 (azote/hydrogène). La plage de température est de 50 à 1000 ° C, et la capacité de température maximale peut être étendue au-dessus de 1000 ° C avec un suscepteur et un réchauffeur en graphite en option. La capacité à haute température rend ce four de diffusion bien adapté aux processus avancés de développement de dispositifs tels que les diélectriques à haut k et les portes métalliques. L'avantage important de ce four de diffusion est sa capacité à recevoir en même temps huit plaquettes carrées de 6 "en configuration 4x2. Il dispose d'un positionnement de haute précision pour un débit de gaz endothermique fiable, et l'uniformité de température peut être ajustée sur toute la surface du four. D'autres caractéristiques comprennent des cassettes et des supports de plaquettes avec des capacités intégrées de mesure de la température, et une gamme de caractéristiques de sécurité, comme un système intégré de purge de l'azote pour protéger contre l'oxydation. En outre, le four de diffusion prend en charge la surveillance en ligne et la collecte de données à l'aide de son logiciel conforme SECS/GEM. Cela permet aux opérateurs de gérer efficacement l'ensemble du processus, de la mise en place du four au traitement des plaquettes. Le four de diffusion TEL Alpha 808SC-Z est un outil puissant et fiable pour le traitement des plaquettes. Il offre une homogénéité de température supérieure, un contact amélioré avec les plaquettes, et peut accueillir une variété de substrats et de gaz de traitement. Avec son contrôle de température de haute précision, ses caractéristiques de sécurité haut de gamme et son logiciel conforme à la norme SECS/GEM, ce four de diffusion est un excellent choix pour le développement de dispositifs avancés.