Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN #9097247 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN est un four de diffusion d'implantation ionique à résonance cyclotron électronique (ECR) doté d'une source de magnétron planaire à courant continu (DC) à un seul niveau. Cet outil puissant peut être utilisé pour le dépôt de couches minces de divers matériaux, tels que l'aluminium, la silice et le nitrure pour toutes sortes d'applications électroniques. Il est équipé d'un canon planaire à double obturateur à fente latérale, pour un contrôle indépendant de l'uniformité de la polarisation et une modulation de l'énergie, ce qui permet un dépôt de couche plus précis et plus efficace. TEL Alpha 808SCN est une plate-forme standard pour tous les systèmes de diffusion/pulvérisation ionique ECR, avec un contrôle manuel et automatique complet d'un grand nombre de paramètres. Il dispose d'un système de régulation de température à 6 zones qui peut être utilisé pour réguler la température du substrat pendant le dépôt du film, ainsi que de deux zones de régulation de pression supplémentaires pour optimiser le processus de diffusion. Toutes les opérations peuvent être gérées par une interface simple à utiliser, mais puissante. La machine est conçue pour le traitement des plaquettes jusqu'à 8 pouces (203,2 mm) avec une pression de gaz maximale disponible de 1000 mbar. Il offre également une capacité de purge des gaz permettant à l'utilisateur d'introduire une purge des gaz dans la chambre de dépôt, pour une sécurité et des performances améliorées. En outre, il est capable d'utiliser le deutérium et l'azote pour adapter les procédés de dépôt, ce qui permet de fabriquer des oxydes métalliques spécialisés. TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN est un outil extrêmement précis et précis, offrant des processus d'implantation ionique à haute résolution, avec des performances supérieures à celles des outils traditionnels. Il s'est également avéré être un outil de production efficace, avec des capacités d'entrée/sortie automatiques, permettant un haut débit et des délais de traitement rapides. Alpha 808SCN est un outil de diffusion et de pulvérisation de source de magnétron planaire à un seul niveau, compatible avec le vide et isolé ECR, conçu pour répondre aux dernières exigences technologiques et de processus pour tous vos besoins de diffusion et de pulvérisation. Ses caractéristiques avancées en font l'un des principaux fours de diffusion disponibles aujourd'hui.