Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #293759916 à vendre en France
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ID: 293759916
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Furnace, 8"
Process: HTSIC WDRIV
CIM: SECS
Carrier and wafer transfer unit
ASYST / Pb90C SMIF
Layout type: U / box type
LL Hand
VMU-40-007 Heater
Torch heater
Gases: N2, O2, H2, Trans-LC
Wafer Type: SEMI STD-Notch
Cassette Type: Entergris / XT200-01E
(25) Cassette wafers
(16) Cassettes
Fork type / material: 1+4 / AI208
Fork variable pitch
TS4000Z System controller
Pyro CTL Torch controller
Signal tower colours: G/R/A
Pressure display units: Pressure Mpa
Cabinet exhaust display units: Kpa
M121 Furnace temperature controller
Does not include Quartzware
Gas distribution:
Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Finish: Electro-polished
FUJIKIN manual and air-operated valve
MFC
Power:
Single phase, 120 VAC
3 Phase, 208 VAC
UPS Input voltage / output voltage: 120/100 V
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SD est un four à diffusion et des accessoires utilisés dans la fabrication de circuits intégrés (IC). L'équipement fournit un traitement thermique répétable et fiable pour la diffusion de dopants dans le substrat pour l'intégration du dispositif. TEL Alpha 808SD dispose d'un écran permettant de contrôler et de surveiller le traitement des plaquettes. Il a une conception en tube ouvert avec une chambre d'oxydation de l'hydrazine, un réacteur à quartz plat et un plénum d'échappement. La chambre d'oxydation de l'hydrazine est conçue pour faciliter l'oxydation à haute température du silicium et d'autres étapes de processus à haute température. Le réacteur à quartz plat est conçu pour assurer une température uniforme à travers la plaquette tout en maintenant un débit élevé. Le plénum d'échappement est conçu pour fournir un échappement efficace de l'hydrogène et de ses composants. Le système est équipé de deux grands éléments chauffants, avec une température maximale de 1200 ° C Il dispose également d'un contrôle de processus, qui est capable de contrôler avec précision les paramètres du processus thermique tels que la température, le temps et le débit. Ceci assure un traitement répétable et fiable des plaquettes. TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD comprend une unité de chauffage à quatre zones qui permet un chauffage rapide des plaquettes ainsi qu'un refroidissement rapide. La machine dispose d'un outil automatisé de distribution de gaz qui permet de contrôler les conditions ambiantes à l'intérieur de la chambre. L'Alpha 808S permet de détecter les fuites dans la chambre principale. Il comprend également un port de chargement d'échantillons pour permettre le chargement et le déchargement de plaquettes sous pression positive. TOKYO ELECTRON Alpha 808SD est une construction en acier inoxydable avec un design modulaire. L'acier inoxydable facilite l'entretien et l'installation. Il assure également un environnement sans fuite. Alpha 808SD asset est livré avec plusieurs accessoires, dont des porte-échantillons, des kits de réfrigérant, des barres de carbone, des kits de filaments et des boucliers. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD est un four de diffusion robuste et fiable et des accessoires conçus pour fournir un traitement de diffusion de plaquettes reproductible et fiable. C'est un excellent choix pour la fabrication d'IC de haute qualité.
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