Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9083539 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SD est un four de diffusion avancé et ses accessoires, conçu pour assurer un dopage uniforme et de haute précision des plaquettes semi-conductrices. La conception de base de TEL Alpha 808SD se compose d'une chambre thermique à haute température, de deux canons à faisceau d'électrons et d'un équipement auxiliaire de distribution de gaz. Ce four est capable de travailler dans une large gamme de températures jusqu'à un maximum de 1100 ° C Le four peut chauffer des échantillons jusqu'à 4 "de diamètre, et peut effectuer jusqu'à 999 cycles, avec un temps de cycle de 10 minutes ou moins. Les deux canons à faisceau d'électrons sont le composant responsable du dopage uniforme et précis des plaquettes semi-conductrices. Les canons peuvent fonctionner indépendamment ou en synchronisation et produire des intensités de courant d'électrons faibles, moyennes ou élevées, avec une précision allant jusqu'à +/- 10 V. Les canons à faisceau d'électrons sont en outre aidés par le système de distribution de gaz auxiliaire, qui produit un faisceau moléculaire pour l'application précise et le dosage de différents gaz dopants dans le four. La conception comprend également une unité sous vide sophistiquée, qui comprend une cryopump refroidie à l'azote liquide, ainsi que des systèmes automatisés de régulation du débit de gaz et de la température pour un contrôle précis du débit de gaz et de la température. Enfin, TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD comprend également une machine sophistiquée de contrôle de la rétroaction. Ceci régule la distribution d'énergie spatiale du faisceau d'électrons, permettant un contrôle précis du processus de dopage de l'échantillon. En conclusion, TOKYO ELECTRON Alpha 808SD est un four de diffusion avancé et précis et les accessoires associés, conçu pour fournir un dopage uniforme et de haute précision des plaquettes semi-conductrices. Cet outil comprend une chambre thermique à haute température, deux canons à faisceau d'électrons et un atout auxiliaire de distribution de gaz, qui se combinent pour fournir un processus de dopage précis et contrôlé. En outre, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD dispose également d'un modèle sophistiqué de contrôle de la rétroaction qui régule la distribution d'énergie spatiale du faisceau d'électrons.
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