Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9097849 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD
ID: 9097849
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Dry oxide furnace, 8", 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SD est un four de diffusion et un accessoire utilisé pour le traitement de haute qualité de la fabrication de plaquettes. Le contrôleur intégré du four de diffusion et les équipements de communication de données à grande vitesse permettent de traiter jusqu'à 8 plaquettes sans aucun échange mécanique. Ceci permet au système de réaliser des plaquettes précises avec une structure de surface propre et homogène, critique pour des performances de semi-conducteurs fiables. TEL Alpha 808SD four de diffusion utilise un tube de quartz qui se déplace dans une chambre de tube de quartz de basse densité. Cela permet de chauffer et de refroidir le tube plus rapidement que les autres modèles de traitement de diffusion, ce qui permet de réduire les temps de traitement et d'augmenter les rendements. La chambre est ensuite purgée à l'azote haute pression, en maintenant une température basse et en protégeant les plaquettes à l'intérieur de la contamination. TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD dispose également d'une unité d'alimentation en gaz qui offre la création automatique à trois voies du processus Backside Arsenic (BSA), le rendant capable d'un contrôle ultra-précis du processus. Le four de diffusion dispose également d'un procédé de dépôt chimique d'oxydation hydrogénée (CHOD) qui permet de raccourcir les délais de traitement jusqu'à 3/4 tout en maintenant la qualité. ALPHA 808 SD dispose également de transfert de serrure de charge, lui permettant de minimiser l'exposition et la contamination des plaquettes. Le circuit intégré de récupération d'horloge met à disposition un port E/S à grande vitesse pour la communication avec le contrôleur Si-IGBT (Semiconductor Isolulated Gate Bipolar Transistor). Cela permet un contrôle précis et finement ajusté des paramètres du processus, essentiel à la production de plaquettes de haute qualité. TEL ALPHA 808 SD est un four de diffusion extrêmement fiable et efficace capable de produire des plaquettes de haute qualité avec un gaspillage minimal. Le contrôleur intégré et la machine de communication de données à haut débit offrent un traitement cohérent sans échange mécanique et le processus CHOD réduit le temps de traitement et donne un rendement élevé. Le transfert de serrure de charge minimise la contamination des plaquettes et le circuit intégré de récupération d'horloge assure un contrôle précis des paramètres du processus. Avec TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD, les fabricants de semi-conducteurs peuvent être assurés d'un four de diffusion fiable et efficace.
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