Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA #9092855 à vendre en France
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ID: 9092855
Taille de la plaquette: 8"
Furnace, 8"
Process capability: Pyro
Zones: 5
Process gases: N2, H2, O2, DCE
Controller model: TS4000
Accessories: Atmospheric system, loadsize, 100, VMU heater
CE mark: Yes.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA est un four à diffusion avancée et un ensemble spécial d'accessoires utilisés dans le processus de fabrication de plaquettes semi-conductrices. Ce four de diffusion utilise une technique de dépôt en phase vapeur à basse pression (LPCVD), par laquelle une chambre spécialement construite et un élément chauffant sont utilisés pour introduire des variations de silicium dans la surface de la plaquette. L'Alpha 81-ZE se compose d'une seule chambre, d'un élément chauffant, d'un système de vide et d'une variété de commandes et d'alimentations. La chambre unique a une conception cylindrique et est en acier inoxydable avec un revêtement intérieur spécial pour éviter la contamination. La chambre est chauffée par un élément chauffant de type induction qui utilise un procédé d'induction haute fréquence. Cet élément chauffant à induction dispose également d'une plage de température réglable de 600 ° C à 1300 ° C pour un contrôle précis du processus de diffusion. TEL Alpha 81-ZA est actionné par un système de vide qui commande l'introduction de différents gaz dans la chambre nécessaire au processus de diffusion. Le système de vide contrôle également la pression de la chambre, qui doit être maintenue à un niveau spécifique pour obtenir des résultats optimaux. De plus, une variété d'unités de contrôle et d'alimentations électriques sont utilisées pour surveiller et ajuster étroitement le processus de diffusion au besoin. Pour garantir une sortie de qualité, TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA dispose également de diverses mesures de sécurité. Cela comprend des capteurs de température, des capteurs de pression, ainsi que des vannes de surpression et de vide pour assurer des conditions de sécurité. Alpha 81-ZA comprend également des contrôles redondants pour s'assurer que le processus de diffusion est constamment surveillé et contrôlé. En bonus, TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA propose également un ensemble spécialisé d'accessoires qui améliorent et personnalisent ses performances. Ces accessoires comprennent des accessoires pour le nettoyage de l'air, l'entretien préventif, les pièces de rechange, les outils de fabrication et les instruments de mesure et d'analyse. Chacun de ces accessoires assure que TEL Alpha 81-ZA fonctionne à son niveau optimal et produit des plaquettes semi-conductrices de haute qualité. En résumé, TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA est un four à diffusion avancée et un ensemble spécial d'accessoires utilisés dans le processus de fabrication de plaquettes semi-conductrices. Ce four de diffusion utilise une technique de dépôt en phase vapeur à basse pression (LPCVD) et est équipé d'une variété de commandes, d'alimentations électriques, de mesures de sécurité et d'accessoires spécialisés. Ce four et les nombreux accessoires qu'il offre fournissent une solution efficace et fiable au processus de production des plaquettes semi-conductrices.
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