Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA #9092856 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA est un four à diffusion et ses accessoires - un puissant équipement tout-en-un pour le traitement des substrats semi-conducteurs. Le système est capable d'effectuer une oxydation à basse température, une croissance d'oxyde à haute température, un dépôt dopant à basse température et une implantation ionique de dépôt à haute température. Il est équipé d'un poste de commande ergonomique avec un logiciel convivial et des fonctions capables d'exécuter des processus de charge de lot à simple wafer avec un minimum d'effort de l'utilisateur. La chambre du four, source de chauffage de l'unité, est montée sur un cadre en acier et comporte une chemise intérieure en quartz contrôlée et une coque extérieure composée de deux demi-couches d'aluminium. Il a une forme cylindrique avec un dessus plat et peut accueillir jusqu'à seize plaquettes. La chambre du four est chauffée par une série de bobines de tungstène suspendues au sommet de la chambre et entraînées par une alimentation haute fréquence. Les bobines sont automatiquement retirées pour l'entretien et le remplacement. La température de la chambre est contrôlée par le contrôleur de four, une machine de commande reliée aux bobines, qui alimente et traduit les signaux reçus du détecteur, d'un compensateur de température, et du contrôleur de four en la température désirée obtenue à partir d'une jauge thermocouple. Le contrôleur de four peut être programmé avec des profils différents pour chaque étape du traitement. De plus, le contrôleur du four est équipé de dispositifs de sûreté et de sécurité, tels que des enclenchements, des alarmes et des avertissements. L'outil comprend une vanne d'échappement reliée à la chambre et équipée d'un débitmètre à soufflante pour mesurer le débit d'air. La soupape d'échappement permet d'éloigner l'environnement des températures élevées à l'intérieur du four et d'éviter la contamination en limitant la quantité de gaz émis. TEL Alpha 81-ZA comprend également un modèle de fluide frigorigène liquide relié à la chambre et à un équipement de pompe entièrement automatisé. Dans la chambre du four, il y a un tube rempli de gaz pour la lecture de la température et de la pression. Le réfrigérant refroidit la chambre et permet un temps de récupération rapide lorsque la température doit être changée. TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA est conçu pour être une solution efficace et rentable dans l'industrie des semi-conducteurs, offrant des capacités de traitement polyvalentes et précises pour des applications exigeantes. Avec son système de contrôle ergonomique optimisé, une interface utilisateur simple et une multitude de fonctionnalités avancées, Alpha 81-ZA est le choix idéal pour tout laboratoire cherchant à augmenter ses capacités de traitement.